ENTEGRIS 發布高純度氣體純化系統平臺,產能已擴展到亞洲

2020-12-08 電子產品世界

　　Entegris, Inc.——一家為微電子行業提供特殊化學品和先進材料處理解決方案的領導者——宣布引進新的先進氣體純化平臺，以提高半導體和 LED 應用的晶圓良率。新系列 GateKeeper® 氣體純化系統 (GPS) 採用新的純化介質，可在各種流量下提供一流的氣體純度，且設備佔用空間更少。隨著產能擴充到了韓國，現在Entegris 可同時在北美和亞洲生產 GateKeeper GPS 系統。

本文引用地址：http://www.eepw.com.cn/article/201702/343908.htm

　　Entegris 微汙染控制部門高級副總裁 Clint Haris 表示：「我們的客戶面臨前所未有的汙染控制挑戰，如何高效地生產日益複雜的尖端設備成為一大難題。新的 Gatekeeper GPS系統系列為客戶提供先進的解決方案，可在這種環境下實現良率最大化。配合這些新技術引進的同時，我們將繼續投資北美和亞洲生產設施，進一步擴展全球服務和生產能力。」

　　先進節點半導體工藝和 LED 生產要求需要更高純度以清除工藝氣體所夾帶的汙染物，這些汙染物會導致產品瑕疵。GateKeeper GPS系統系列可清除氣流中的各種汙染物，使其降至萬億分之一級別，並可通過配置來適應各種流量。經純化的氣體包括 CDA、N2、H2、用於 EUV 的 H2、Ar、NH3。此外，製造商正在尋找附屬廠房佔地面積更小的機臺。更小的佔地面積可讓客戶將寶貴的附屬廠房地面空間騰出，安裝其他所需機臺或額外系統來提高純化產能。

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　　氣體純化產品管理部門主管 Jordan Ruple 表示：「我們和客戶緊密合作，了解和滿足客戶的純化需求，清除新汙染物，增強對已知汙染物的敏感度。我們率先為該尺寸的系統提供這一純度級別——涵蓋各種氣體和流量，對此我們相當自豪。」

　　最新 GateKeeper 系統將於 2017 年 2 月 8-10 日在 SEMICON® Korea 展會上亮相。有關詳細信息，請參觀 D 展廳 5504 號 Entegris 展位、聯繫當地 Entegris 代表或訪問我們的網站。

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