我國超精密光學零件加工技術跨入世界領先行列

2020-11-26 環球網

軍報記者長沙1月22日電(解放軍報記者王握文、通訊員王孝恭、汪東)記者今天從國防科技大學獲悉：由該校機電工程與自動化學院自主研製的新一代超精密光學零件加工設備，日前通過相關單位組織的工藝考核。結果表明，該套設備加工精度實現亞納米級重大突破，其典型試驗件的光學零件面形精度RMS(均方根)值達到0.361納米，標誌我國超精密光學零件加工技術跨入世界領先行列。

超精密加工技術是先進裝備製造的關鍵性瓶頸技術，納米精度被譽為超精密加工技術「皇冠上的明珠」。過去，由於我國光學零件加工技術落後，無法進行大口徑、高精度、複雜面形的光學零件加工，嚴重製約相關領域的技術進步。20世紀80年代以來，該校精密工程創新團隊在李聖怡教授率領下，經過30多年頑強拼搏與自主創新，先後突破高精度工具機精密運動機構設計、高效磁流變拋光液配製、離子束穩定控制、光學元件亞納米全頻段誤差控制等核心關鍵技術，研製出一系列具有自主智慧財產權的磁流變、離子束拋光設備，打破了發達國家對超精密加工設備的技術封鎖，使我國成為繼美、德之後全面掌握磁流變和離子束拋光裝備兩種高精度光學零件加工技術的國家。

近年來，該校精密工程創新團隊在「極大規模集成電路製造裝備與成套工藝」國家重大科技專項二期項目和國家自然科學基金重大項目支持下，研製成功新一代離子束拋光工具機與數控光順拋光工具機，其最小可控材料去除量達到0.1納米。有關專家指出，這一自主創新成果可為「極大規模集成電路製造裝備與成套工藝」、「高解析度對地觀測系統」等國家重大科技專項提供有力技術保障和裝備支撐，將直接促進相關領域關鍵技術突破，對於提升我國先進裝備製造水平具有重要意義。

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