至純科技:半導體溼法刻蝕設備龍頭,開創「芯」篇章

2020-12-04 中證網

　　大陸晶圓廠興建浪潮拉動半導體設備投資,國產半導體設備受益崛起。根據SEMI的數據,2017年全球半導體製造設備銷售額達到566億美元,中國大陸半導體設備銷售額達到82.2億美元,預計全球將於2020年前投產62座半導體晶圓廠,其中26座設於中國大陸。大陸市場的半導體設備需求愈發強勁,但大陸市場主要依賴進口,自給率不足。《國家集成電路產業發展推進綱要》等一系列政策的出臺將會推動設備全面國產化的進程,國產設備將會迎來巨大的機遇。公司作為國內高純工藝業務的龍頭企業,將率先受益於國產化浪潮。

　　清洗設備市場廣闊,國產設備市佔率有望提升。根據SEMI2017年的數據,全球清洗設備約佔到半導體投資設備總額的6%。預計到2020年中國晶片製造企業對清洗設備需求有望突破600億。目前全球清洗設備市場主要有迪恩士、Mujin、東京電子、泛林、細美事半導體等國外企業。國內清洗設備生產商主要有至純科技,北方華創,盛美半導體。未來隨著國產化進程的推進,國產清洗設備的市佔率將不斷提升。

　　溼法工藝裝備研發取得成效,有望打造細分領域拳頭產品。公司依靠作為半導體產業高純工藝系統集成商積累的優勢,積極響應國家戰略號角,投身於本土集成電路工藝裝備事業。公司於2015年開始啟動溼法工藝裝備研發,2017年成立子公司至微半導體作為獨立的半導體溼法事業部,致力於打造高端溼法設備製造開發平臺。該領域的研發卓有成效,公司已於2017年形成了以Ultron作為品牌的槽式溼法清洗設備和單片式溼法清洗設備系列,並已經取得6臺的批量訂單。目前國內僅有少數幾家公司能夠生產清洗設備。公司在設備國產化浪潮之下先發制人,提早切入清洗設備領域,有望打造在該細分領域的拳頭產品。

　　投資建議:我們預計公司18~20年EPS分別為0.38、0.74、1.08元/股,對應三年PE為57.78、29.88、20.49倍。考慮公司未來幾年增速較高,目前公司市盈率水平顯著低於可比公司水平,首次覆蓋給予買入評級。

　　風險提示:高純集成系統訂單不達預期;清洗設備基地建設進展放緩;清洗設備認證進程不及預期;預測假設與實際情況有差異風險。

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    其中，幹法刻蝕（代表為等離子體幹法刻蝕）為主流刻蝕技術，溼法腐蝕常用於尺寸較大（大於 3 微米）場景或去除幹法刻蝕後的殘留物。根據被刻蝕材料的不同，幹法刻蝕還可以進一步分為金屬刻蝕、介質刻蝕、矽刻蝕。溼法設備：預計至 2020 年全球規模提升至 37 億美元溼法設備分為槽式溼法設備與單片式溼法設備，由於集成電路線寬的不斷縮小，單片式溼法設備成為主流。溼法晶圓清洗指通過離子水、清洗機等清洗晶圓表面並隨之溼潤再乾燥，為主流的清洗方法。構成來看，溼法設備包括主要包括清洗設備、去膠機、溼法刻蝕機。半導體加工環節中，清洗佔總工序超過三成。
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    設備行業核心公司（中微公司、北方華創、至純科技、精測電子、長川科技、晶盛機電、華峰測控、萬業企業）第三季度營業收入42 億元，同比增長 27%（剔除掉重組因素，下同）；第三季度歸母淨利潤 7.6 億元，同比增長 37%。設備行業持續處於高速增長，國產替代空間快速打開，國內核心設備公司成長可期。
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    如果說ic晶圓製造領域是頭部效應，贏者通吃，那麼相較於國產ic製造廠商，譬如中芯國際（00981-HK）、華虹半導體（01347-HK），處在半導體產業鏈前端的半導體材料廠商和半導體設備廠商面對的是更加適宜的環境。
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    面對上述情況，全球42個國家也在上個月達成一致，決定擴大對半導體的出口限制範圍，防止技術外流。儘管如此，中國晶片代工龍頭中芯國際近日就再度傳來好消息。1年70億！中芯國際購買美企生產設備：中國晶片龍頭正不斷擴產3月23日，中芯國際在公告中指出，該公司於今年2月18日至3月20日期間，向泛林團體提交一系列用於生產晶圓的產品訂單，總金額達3.97億美元（約28億元人民幣）。不過，中芯國際未披露訂單的具體細節。