光刻機的精度有多難?

2021-01-11 騰訊網

荷蘭的一臺光刻機,憑什麼值1.2億美元一臺,他的技術真的有那麼難嗎?

一臺光刻機的零件就超過10萬個,而且90%都得從其他國家進口。

先從光源說起,E uv光刻機的光源來自XYmer,波長為13.5納米。但這13.5納米,其實是從193納米多次反射得到的。

簡單來說,就是用250功率的二氧化碳雷射,轟擊滴落下來的金屬錫滴液,連續攻擊兩次後,就能加熱激發出Euv等離子體,從而獲得波長更短的光。

這一過程,每秒要攻擊5萬個滴液,而一個金屬錫液滴,也就只有20微米大小,相當於從地球發出的手電筒光線,要精確射到一塊在月球上的硬幣一樣難。

而Euv光刻機裡面的反光鏡,是由德國蔡司製造的,只反射13.5納米的光,一共有40層,每一層的外表非常平整。

但由於光刻機的光很容易被空氣吸收,每一次反射都會損失掉30%的光強,一頓操作下來最後就只剩2%的光強。所以說光刻機是耗電猛獸。

光刻機除了耗電,還很耗水。因為轟擊金屬錫滴液會釋放能量,所以每一秒鐘得有4000升的水來進行冷卻。

而廠房環境也很嚴格,每小時要淨化30萬立方米的空氣,就光以上幾點,你大概可以品出造一個光刻機有多難了吧。

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    打開APP 光刻機能幹什麼_英特爾用的什麼光刻機_光刻機在晶片生產有何作用 網絡整理 發表於 2020-03-18 11:12:02
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