走進863:場發射掃描電子顯微鏡(FESEM)的原理及應用

2021-02-20 863檢測

場發射掃描電子顯微鏡（FESEM）是電子顯微鏡的一種，掃描電鏡（SEM）是介於透射電鏡和光學顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質性能進行微觀成像。

（863實驗室-場發射掃描電子顯微鏡）

FESEM廣泛用於生物學、醫學、金屬材料、高分子材料、化工原料、地質礦物、商品檢驗、產品生產質量控制、寶石鑑定、考古和文物鑑定及公安刑偵物證分析。可以觀察和檢測非均相有機材料、無機材料及在上述微米、納米級樣品的表面特徵。

場發射掃描電子顯微鏡的優點

（1）有較高的放大倍數，20-30萬倍之間連續可調；

（2）有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細微結構；

（3）試樣製備簡單，目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀（EDS）裝置，這樣可以同時進行顯微組織形貌的觀察和微區成分分析。

FESEM可為客戶解決的產品質量問題

（1）當產品表面存在汙染物或異物時，可選擇EDS分析汙染物或異物含有哪些元素，對異物來源提供線索；

（2）SEM形貌觀察微觀結構、顆粒物尺寸量測、截面法量測鍍層厚度、異物成分分析、錫須觀察、微米級長度、納米級尺寸量測。

X射線能譜儀（EDS）注意事項

（1）無磁性或弱磁性，不易潮解且無揮發性的固態樣品，樣品尺寸小於長80mm*寬60mm*高60mm，當樣品尺寸過大需切割取樣，粉末樣品最好由客戶選擇對樣品無汙染的包裝方式。

（2）取樣的時候避免手和取樣工具接觸到需要測試的位置，取下樣品後選擇是否鍍金處理，及時檢測樣成分品避免外來汙染影響分析結果。

場發射掃描電子顯微鏡的案例分析


實例一：客戶要求對LED螢光填充物進行成分分析

實例二：客戶需對碳納米管和石墨烯進行SEM形貌觀察

文字編輯 | 王建（物理組組長）

 模特 | 張軼梁（工程師）

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