日前，國家重大科學儀器設備開發專項「場發射槍掃描電子顯微鏡開發和應用」項目在北京通過科技部驗收，這標誌著這一納米研究領域的高端科學儀器實現了國產化。
該項目由中國科學院下屬企業北京中科科儀股份有限公司承擔研製工作。在項目技術綜合驗收會上，科技部驗收專家組現場聽取了項目完成情況匯報，觀看了項目視頻，聽取了異地測試情況匯報。與會專家組成員認為項目按期完成了任務書規定的項目目標及各項考核指標，形成兩款產品並已陸續交付。專家組對項目完成情況給予高度評價，一致同意通過驗收。
該項目突破了高分辨電子光學成像系統設計、場發射槍工程化設計製造、電子束加速鏡筒設計製造等多項關鍵技術，成功開發出具有自主智慧財產權的肖特基場發射槍掃描電子顯微鏡，解析度指標分別達到和優於3nm@1kV和1nm@30kV，達到國際一流水平。
中科科儀董事長兼項目負責人張永明表示，該項目促進了我國電子光學儀器產業的發展，使我國掃描電鏡研製水平上了一個臺階，有效解決當前「卡脖子」問題，打破了國外產品的壟斷局面。「項目對推動和提高我國前沿科學研究、重大工程和戰略型新興產業高端裝備的國產化和自主化水平有著積極意義。」
據了解，場發射槍掃描電子顯微鏡是納米科技研究不可缺少的工具，為前沿科技研究提供重要支撐，提升高端科學儀器研製水平，促進精密製造業發展，滿足半導體技術、生命科學、環境保護等領域的迫切需求。
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