半導體中的「氮化矽」

2021-01-09 騰訊網

可以很囂張的說,沒有氮化矽,就沒有今天如此普及的電子產品。記住,我們現在電子系統都是以矽基為基礎的,這裡就包括了矽,以及氮化矽,氧化矽,氮氧化矽等,那隨著近期的科技發展,技術朝向另外一個方向,叫做碳基電子,意思就是所有現在矽材料都要換成碳材料,為啥了?矽與碳都化學周期表種第四主族元素,具有類似電學性能,但是碳基點在具有比矽基更優秀的地方在於碳基具備「柔性,延展性」這些特徵,從而產生更多奇妙的應用。

氮化矽陶瓷基板將成為未來市場的趨勢

半導體正沿著大功率化、高頻化、集成化方向發展。半導體器件在風力發電、太陽能光伏發電、電動汽車、LED照明等領域都有廣泛的應用。陶瓷基板作為電子元器件在LED照明散熱領域起著非常重要的作用。今天小編主要從半導體器件用料方面分享一下「氮化矽陶瓷基板將成為未來市場的趨勢「。

半導體封裝材料是承載電子元件及其相互聯線,並具有良好的電絕緣性的基體,基片材料應具有以下性能:良好的絕緣性和抗電擊穿能力;高的導熱率:導熱性直接影響半導體期間的運行狀況和使用壽命,散熱性差導致的溫度場分布不均勻也會使電子器件噪聲大大增加;熱膨脹係數與封裝內其他其他所用材料匹配;良好的高頻特性:即低的介電常數和低的介質損耗;表面光滑,厚度一致:便於在基片表面印刷電路,並確保印刷電路的厚度均勻。

目前常用的基片材料包括:陶瓷基片、玻璃陶瓷基片、金剛石、樹脂基片、矽基片以及金屬或金屬複合材料等。其中陶瓷由於具有絕緣性好、化學性質穩定、熱導率高、高頻特性好等優點而受矚目。國內對陶瓷電路板基片的需求也非常巨大,以氧化鋁陶瓷基片為例,目前我國的需求量每年擦超過100萬平米,而其中90%依賴進口。

半導體器件用陶瓷基板基片材料發展現狀

1、氧化BeO陶瓷基片材料

氧化鈹材料中,鈹和氧的距離很小,原子間堆積緻密,加之平均原子量較低,符合高熱導率陶瓷的條件,是氧化物中難得的具有高電阻、高熱導率的陶瓷材料,其室溫熱導率可達250W/(m.k),與金屬的熱導率相當。但是其致命的缺點是具有毒性,長期吸入氧化鈹粉塵會引起中毒甚至危及生命,並會對環境造成汙染,這極大的影響了氧化鈹陶瓷電路板基片的生產和應用。隨著新材料的發展,未來將被替代。

2、 三氧化二鋁陶瓷基板板材料

三氧化二鋁陶瓷是目前製作和加工技術最成熟的陶瓷基片材料,三氧化二鋁陶瓷基片的注意成分是三氧化二鋁,根據含量不同有75瓷、85瓷、95瓷和99瓷等不同的型號。三氧化二鋁陶瓷基片具有介電損耗低,電性能與溫度的關係不大,機械強度較高,化學穩定性好的優點,目前三氧化二鋁陶瓷基片研究的重點在於優化燒結的方法和燒結助劑的選擇。

雖然三氧化二鋁基片目前電子行業比較成熟陶瓷電路板材料,但是因其導熱率較低,99瓷僅位29W/(m.k).此外熱膨脹係數較高,在反覆的溫度循環中容易產生內應力,大大增加了晶片失效概率。這也就決定三氧化二鋁基片並不能適應半導體大功率的發展趨勢,其應用只限於低端領域。

半導體中的「氮化矽」

3、氮化鋁陶瓷基板基片材料

鋁和氮都是四賠位,其晶體的理論密度為3.231g/平方米。這種結構AIN陶瓷材料成為少數幾種具有高導熱性能的非金屬材料之一。AIN陶瓷基片有著三氧化二鋁陶瓷基片5倍以上的熱導率,可達150W/|(m.k)以上。另外AIN的熱膨脹係數為(3.8~4.4)乘以10-6/攝氏度,與SI、碳化矽等半導體晶片材料熱膨脹係數匹配較好。製作AIN陶瓷的核心原料AIN粉體工藝複雜、能耗高、周期長、價格昂貴。國內的AIN粉體基板依賴進口,原料的批次穩定性、成本也就成為國內高端AIN陶瓷基片材料製造的瓶頸。高成本限制了AIN陶瓷的廣泛應用,因此目前AIN陶瓷電路板基片主要應用於高端產業。此外AIN陶瓷電路板雖然具有優秀的導熱性能和半導體材料相匹配的線膨脹係數,但是其力學性能較差,如果抗彎強度只有300mpa.在複雜的力學環境下,AIN基片容易發生損壞,從而對半導體壽命造成影響,並增加其使用成本。

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    近年來,電子電力器件朝大功率、高密度、集成化等方向發展,對器件中陶瓷散熱基板提出更高要求。目前,常用的氧化鋁基板熱導率低、氮化鋁基板可靠性差,限制其在高端功率半導體器件中的應用。氮化矽陶瓷基板具有高強度、高韌性、高絕緣、高熱導率、高可靠性及與晶片匹配的熱膨脹係數等優點,是一種具有綜合性能的基板材料,應用前景廣闊。
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    與其他類型的氮化矽相比,RBSN的多孔性更高(約25%的孔隙度),並且在機械性能方面劣於其他類型的氮化矽,但其成本效益相對較高,並用於窯爐家具等應用中。熱壓氮化矽(HPSN)HPSN由細的Si3N4粉末和氧化鎂在石墨模頭中的混合物製成,該混合物要經受高溫和高壓(通常在1800°C和40MPa的壓力下)。與RBSN相比,它是高密度的,並且具有更好的機械性能。
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    在新能源汽車、儀器儀表等領域,陶瓷與金屬封接構成的器件材料應用越來越廣泛,目前的陶瓷金屬化封接材料中比較成熟的是氧化鋁陶瓷的陶瓷金屬化焊接。氮化矽陶瓷與金屬焊接工藝現在具有了越來越廣泛的應用,氮化矽活性金屬直接釺焊工藝製作的電路板、氮化矽陶瓷焊接工藝的增壓渦輪、耐高溫腐蝕陶瓷絕緣隔離管路和傳感器絕緣封裝等。氮化矽陶瓷耐熱特性好,在常壓下,在1870℃左右直接分解,氧化氣氛可以使用到1400℃,實際使用超過1200℃力學強度下降。
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    為了獲得緻密的氮化矽陶瓷,通常在氮化矽粉體原料中加入氧化物的燒結助劑,利用氧化物存在時形成的一些熔融相來促進燒結的緻密化。一般的燒結助劑有氧化鋁、氧化釔、氧化鎂、氧化鈣等,不同的燒結助劑作用機制也不一樣,在製備不同種類的氮化矽陶瓷時,需要選用不同的燒結助劑或者複合燒結助劑。
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    1.氮化矽的氧化:純鐵與氮化矽體系耐火材料在不同溫度及氧分壓條件下穩定存在的凝聚相以及它們的穩定範圍。在Si-N-O系中有實際意義的凝聚相有Si、Si3N4、Si2N2O和SiO2。由氮化矽與鐵的穩定狀態圖可以得知不同氧分壓條件下該體系中穩定存在的物相組成,由此也可構築出不同組成的複合材料。
  • 氮化矽鐵剛玉質複合耐火材料的製備與使用性能
    1.氮化矽鐵剛玉複合耐火材料的製備:根據原料配比配料,在混料機中混煉30min,壓製成型。採用了兩種不同的熱處理方法,200℃低溫烘乾、1450℃埋炭燒成對試樣進行處理。2.氮化矽鐵剛玉複合耐火材料的物理使用性能:(1)氮化矽鐵剛玉複合耐火材料的顯氣孔率:由下表氮化矽鐵-剛玉複合耐火材料的顯氣孔率可知,隨著氮化矽鐵含量的增加,兩種不同工藝製備的試樣的顯氣孔率隨之增加。
  • 鐵-氮化矽耐火材料高溫氧化氛圍下穩定性分析
    根據上述的熱力學分析,結合純氮化矽的差熱曲線,說明在870℃之前進行的反應應為鐵的氧化。另外,鐵-氮化矽體系耐火材料在1127℃出現失重,此情況應為鐵或鐵的氧化物同氮化矽的反應。而氧化鐵同氮化矽的反應在1130℃之內是不能發生的,發生的僅有氮化矽同鐵之間的反應。隨著溫度的升高,在1390.2℃會出現一個小放熱峰,同時表現為失重。
  • TEM/SEM顯微鏡微孔氮化矽薄膜觀測窗口
    在以前,實驗室使用電子顯微鏡觀測樣品做實驗使用的耗材,這些氮化矽薄膜觀測窗口基本都是從國外進口。耗材成本先不說,就購買的時間成本是非常長的。如果實驗數據不是很理想,還要花時間和費用去購買耗材,非常不便捷。
  • 太陽能電池PECVD後基板表層氮化矽的清洗研究
    3、在清洗槽內採用氫氟酸溶液去除太陽能電池PECVD後基板表層的氮化矽,使表層覆有氮化矽的太陽能電池PECVD後基板在氫氟酸溶液中浸泡 8h ~ 16h。S14、使表層覆有氮化矽的太陽能電池PECVD後基板在氫氟酸溶液中浸泡 8h ~ 16h,當氮化矽被清洗掉之後,撈出太陽能電池PECVD後基板,晾乾。本實施例可以通過肉眼觀察判斷氮化矽是否被清洗掉。
  • 與傳統燒結方法相比,氮化矽陶瓷微波燒結的優勢在哪?
    熱壓燒結工藝流程圖以高純、超細、高α相含量的氮化矽粉末與少量助燒劑混合,通過成形、燒結等工序製備而成。氮化矽陶瓷的氣壓燒結是指把氮化矽壓坯置於較高氣壓的氮氣中於1800~2100℃下進行燒結。高壓力的氮氣氛圍可抑制氮化矽的分解,從而有利於選擇能形成耐高溫晶間相的助燒劑以提高氮化矽陶瓷的高溫性能。氮化矽陶瓷傳統製備方法相比
  • 裡程碑:氮化矽抗菌植入物及相關材料美國專利獲批
    10月28日,納斯達克上市的氮化矽陶瓷製造商SINTX公司宣布,公司的抗菌生物醫學植入物和相關複合材料獲頒美國專利。在這之前不久的10月初,該公司剛剛宣布成功地將氮化矽顆粒分散並嵌入到熔噴布和機織纖維中,從而開發出一種新型滅活抗菌口罩。
  • 氮化矽鐵在耐火材料上的應用及影響其合成的重要因素
    產物中有許多的氮化矽孔洞,Fe₃Si和FexSi被氮化矽孔洞所包圍;初始矽鐵粉粒度越細,反應溫度越高,保溫時間越長,越易發生α-Si₃N₄轉化成β-Si₃N₄的相變。 2、氮化溫度 楊景周等用粒度小於74µm的FeSi75粉為原料和濃度為5%的聚乙烯醇為粘結劑。粘結劑加入比例為8%。