在以前,實驗室使用電子顯微鏡觀測樣品做實驗使用的耗材,這些氮化矽薄膜觀測窗口基本都是從國外進口。耗材成本先不說,就購買的時間成本是非常長的。如果實驗數據不是很理想,還要花時間和費用去購買耗材,非常不便捷。
為了打破這種壟斷,在電鏡氮化矽薄膜觀測窗口的國產化上,國內科研人員也是花費了時間和精力去開發和生產。目前,原位晶片提供的顯微鏡氮化矽薄膜觀測窗口已經可以取代進口,廣泛用於高校、科研機構,也遠銷國外,成為實驗室「好幫手」。原位晶片可以提供多種電鏡氮化矽薄膜觀測窗口,其中微孔氮化矽薄膜窗口主要是ME/NE系列。
ME/NE系列
原位晶片生產的微孔/納米孔氮化矽薄膜窗口均在百級潔淨環境中製備,在窗口薄膜上利用
MEMS工藝製備不同孔徑大小的陣列,方便研究人員用於特殊樣品觀測。目前蘇州原位晶片已推出以下標準微孔/納米孔氮化矽薄膜窗口,如客戶有其他微孔/納米孔薄膜窗口需求,原位晶片可提供開發定製。