電極作為真空等離子清洗機反應腔體放電的關鍵部件之一，在設備保養過程中往往容易被我們忽視。不知道大家有沒有注意到，真空等離子清洗機持續工作一段時間後，會看到這些現象：反應腔體內的放電不穩定甚至有拉弧；處理的產品不如之前的效果好；等離子發生器匹配不上；電極某個地方溫度非常高等等，究其原因有可能是電極保養不當造成的影響哦。我們普樂斯的技術人員和客服人員，結合多年的研製和服務經驗，總結了一些心得，今天分享給大家。
1 真空等離子清洗機電極的材質、組成和功能
常見的真空等離子清洗機是電容耦合式放電，即CCP放電，電極相當於電容，一般是成雙成對的對應關係，包括水平電極、垂直電極、組合式電極等。無論是13.56MHz射頻激發產生等離子體，還是40KHz中頻激發產生等離子體，在一定的真空度環境下當等離子發生器給電極施加能量，就會在兩極之間產生電位差激發氣體產生等離子體。
1）電極的材質：打孔或者整塊金屬鋁板
2）電極的組成：鋁板、饋入接頭和絕緣條
3）電極的功能：具有電容特性，通電後極板帶電形成電勢差，當能量集聚到一定程度，可以把兩極之間的氣體激發電離形成離子體。
2 影響真空等離子清洗機電極放電不佳的一些原因
真空等離子清洗機的電極，我們也叫負載，當負載發生任何變化的時候，都會影響等離子體的產生和等離子表面處理的效果。
1）經常插拔電極，會造成電極饋入磨損或接觸不良；電極饋入使用久了，表面被氧化使其電阻增大時，放電會不穩定，層間溫差比較大。
2）等離子處理材料時，等離子體會和材料表面發生物理或化學反應，大部分氣化的東西都會被真空泵抽走，但也有極少的物質會粘在電極表面，日積月累，慢慢的電極表面就被汙染物遮擋起來。如果是絕緣層，相當於讓電極的電容變大，放電需要的功率會更高；當電極表面被導體粉末或者碳等汙染物遮擋時，電極的電容變小，放電的功率降低，有可能導致拉弧，電極局部溫度會很高。
3）負載的變化，會直接導致等離子發生器的匹配受到影響，出現匹配不好的情況。
3 真空等離子清洗機的電極保養注意事項
1） 真空等離子清洗機的設備保養裡面都會有電極維護保養的要求，為了把工作做得更細，可以單獨制定出等離子清洗機電極保養計劃，包括日計劃、周計劃、月計劃和年度計劃。
2）電極每天工作前後都要用無水酒精擦拭乾淨，不留死角，保證電極表面潔淨如新；定期取出電極看看電極饋入是否氧化或需要更換；絕緣條有沒有磨損或者絕緣效果不好，需不需要更換。
3）根據不同的使用環境和工藝要求，當電極表面已經不能通過人工擦拭方式變乾淨，或者是電極表面已經形成肉眼看到見的汙染層，這就需要取出電極請專業人員進行打磨甚至是更換電極。
總之，真空等離子清洗機的電極維護保養工作如果做好了，不僅可以保證等離子表面處理的效果，而且可以延長設備的使用壽命，提高經濟效益。
親，感謝您耐心的閱讀！如果此文對您有所幫助，敬請點個讚或者關注一下；如果您有更好的建議或內容補充，歡迎在下方評論區留言與我們互動。本百家號的宗旨是專注等離子清洗機和低溫等離子體的技術研討，與您分享等離子表面處理工藝、原理及應用等相關知識。