真空等離子清洗機由真空發生系統、電氣控制系統、等離子發生器、真空腔體及相關機械等幾個部分構成。應用時可以根據客戶的要求定製符合客戶需要的真空等離子清洗機。
真空等離子清洗機利用兩個電極形成電磁場，用真空泵實現有效的真空度，隨著氣體越來越稀薄，分子之間的間距及分子或離子的自由運動的距離也越來越長，受磁場作用發生碰撞而形成等離子體並產生輝光。等離子體在電磁場內的空間運動，並不斷轟擊被處理物體表面，去除表面油汙以及表面氧化物、灰化表面有機物以及其它化學物質，以此達到表面處理清洗和刻蝕的效果。
等離子噴槍真空離子清洗機廣泛應用於表面去汙及等離子刻蝕，聚四氟（PTFE）及聚四氟混合物的刻蝕、塑料、玻璃、陶瓷的表面活化和清洗、等離子塗鍍聚合等工序，因此廣泛應用於汽車領域、電子領域、軍工電子領域、PCB製成行業等高精密度領域。
真空式等離子處理系統真空等離子清洗機整個清洗過程大致如下：
1、首先將被清洗的工件送入真空機並加以固定，啟動運行裝置開始排氣，讓真空腔內的真空程度達到10Pa左右的標準真空度。一般排氣時間大約需要幾分鐘。
2、然後向真空室內引入等離子清洗用的氣體，並保持腔內壓強穩定。根據清洗材料的不同，可分別使用氧氣、氬氣、氫氣、氮氣、四氟化碳等氣體。
3、在真空室內的電極與接地裝置之間施加高頻電壓，使氣體被擊穿並通過輝光放電而發生等離子化和產生等離子體，讓在真空腔內產生的等離子體籠罩住被處理的工件並開始清洗作業，一般清洗處理持續幾十秒到幾十分鐘不等，根據處理材質的不同而定。
4、清洗完畢後切斷電源，並通過真空泵將氣體和氣化的汙垢抽走排出，清洗結束。
自動式On-Line式AP等離子處理系統真空等離子清洗機擁有諸多優勢：如採用數控技術自動化程度高；具有高精度的控制裝置，時間控制精度高；正確的等離子體清洗不會在表面產生損傷層，表面質量得以保證；清洗工作在真空環境中進行，清洗過程環保安全，不會汙染環境，且有效保證清洗表面不會被二次汙染。