等離子清洗機在密封容器中設置兩個電極形成電場，用真空泵實現一定的真空度，隨著氣體變稀薄，分子之間的間距和分子或離子的自由運動的距離也越來越長，而後通過電場作用發生碰撞而形成等離子體。離子是沒有方向性及規則性的，發生反應時離子不斷抨擊物體的表面使之產生相互碰撞，不同氣體發出輝光顏色不同，是因為發生了不同的物理反應。利用等離子處理會發出輝光，又稱之為輝光放電處理。
輝光輝光放電在兩極電場的作用下，電子和正離子分別向陽極、陰極運動，並在此過程中堆積在兩極附近形成空間電荷區 。又因為正離子的漂移速度遠小於電子，所以正離子空間電荷區的電荷密度比電子空間電荷區要大得多，讓整個極間電壓幾乎全部集中在陰極附近的狹窄區域內。這也是輝光放電的顯著特徵，而且在輝光正常放電時，兩極間電壓不會隨著電流的改變而發生變化。
等離子處理系統等離子清洗機為什麼會產生輝光呢？原因就在於等離子清洗機在使用過程中，會使用不同的氣體進行工藝處理。不同氣體中的能級均具有不同的能量轉換，不同工藝氣體顯示了不同特點的發光，並因此產生不同特徵的顏色。每種氣體電子躍遷時發出的光波長都不一樣，所以也就能夠看到不同顏色的輝光了。當然你加大功率到一定程度看起來都是白光，因為光子太多了。
全自動On-Line式AP等離子處理系統經常在等離子清洗工藝流程中使用的氣體的典型顏色如下所述：
CF4：藍色
SF6：淡藍色
SiF4：淺藍色
SiCl4：淺藍色
Cl2：淺綠色
CCl4：淺綠色
H2：粉紅色
O2：淡黃色
N2：紅色至黃色
Br2：紅色
He：紅色至紫色
Ne：磚紅色
Ar：暗紅色
等離子清洗機產生的輝光顏色不僅可用於識別工藝氣體，還可以用於定性評估工藝氣體是否含有汙染物。