WO3外延薄膜被認為是極具潛力的氣敏材料,因為它具有比表面積大、熱穩定性好等優點,而且,其晶相、外露晶面及縱向晶粒尺寸可精確控制。中鎢在線提供優質WO3材料。
WO3,即三氧化鎢,是一種具有廣泛應用前景的功能材料,在諸如電致變色、有毒氣體探測和光化學催化等方面已得到較系統的研究。WO3對NOx、H2S以及SOx等多種有毒有害氣體具有很好的敏感特性和選擇性,因而常被製成氣體傳感器。
據報導,研究人員針對WO3外延薄膜開展如下研究:
(1)用雷射分子束外延在不同取向的LaAlO3、SrTiO3、Al2O3單晶襯底上製備具有特定晶相和晶面的WO3外延薄膜,結合結構表徵、物性測量、第一性原理計算以及氣敏性能測試,研究晶相、外露晶面及膜厚等參數對氣敏性能的影響;
(2)在WO3外延薄膜表面修飾NiO、SnO2、Pd等材料,探究p-n、n-n及金屬-氧化物異質結對氣敏性能的調控作用;
(3)開展氣敏性能長期穩定性測試,利用結構表徵手段,揭示薄膜微結構變化與傳感器穩定性的關聯,探索提高穩定性的方法。
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