有與5納米工藝客戶合作經驗,SGS半導體超痕量分析實驗室落戶上海張江

2020-12-04 愛集微APP

集微網消息，12月1日， SGS通標標準技術服務有限公司（下簡稱「SGS通標」）投建的半導體超痕量分析實驗室在上海張江正式投入運營。

圖片來源：SGS官方

據SGS官方消息，作為長三角地區首個外資第三方半導體超痕量分析實驗室，該實驗室有望幫助晶片工廠加強產業鏈原物料的品質把控，提升晶圓生產良率，減少缺陷，為中國半導體產業快速發展提供服務支持。

物料與環境的痕量汙染物的分析與控制一直是半導體生產中良率提升的關鍵，SGS超痕量分析實驗室有與5納米工藝客戶合作的經驗，能檢測出ppt等級的痕量汙染物，這點也是能幫助國內半導體工藝從14納米提升至10納米甚至未來5納米的關鍵環節。

SGS半導體超痕量分析實驗室可為半導體產業鏈企業提供原物料相關的測試服務，包含超純水，氣體，超純化學品，矽片，另一方面也提供針對半導體工藝機臺和無塵自動化機械手臂的針對ISO 14644顆粒度測試，同時也為半導體生產的潔淨室提供空氣分子汙染檢測。（校對/若冰）

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