將光學檢測技術和儀器的產業化推到新的高度

　　儀器信息網訊 2016年5月10日，由中國光學工程學會、中國高科技產業化研究會、國際光學工程學會(SPIE)、美國光學學會(OSA)主辦的2016年國際光電技術與應用系列創新研討會(OTA 2016)在京開幕。此次研討會除了大會報告之外，還設有13個分會場，分別為1.國際高功率雷射技術與高能雷射應用研討會2.國際雷射製造與雷射檢測技術研討會、3.國際3D列印技術及其應用研討會(2.3.合併)、4.國際先進光學系統設計與製造及應用研討會、5.國際光學檢測技術及儀器研討會、6.國際機器人先進感知與智能控制技術研討會、7.國際天文望遠鏡與儀器研討會、8.國際大數據光存儲技術研討會、9.國際高光譜遙感應用研討會、10.國際矽基光電子與集成研討會、11.國際紅外技術與應用研討會、12.國際環境監測與安全檢測技術及應用研討會、13. 紀念光纖發明50周年大會等。

　　5月10日下午至5月11日是大會的分會場研討時間。分會之一國際光學檢測技術及儀器研討會作為國際光電技術與應用系列創新研討會的重要組成，每年都吸引來國內外光學檢測技術研發專家們到會參加討論。據主辦方中國光學工程學會介紹，往屆的光學檢測技術及儀器研討會更注重技術的研發探討，今年的會議是首次明確將光學檢測技術和儀器的產業化作為研討的主題，這也是響應國家支持科研成果轉化的號召。

　　會議現場

　　本屆國際光學檢測技術及儀器研討會共包括來自國內外工程化院校、研究所以及商業化儀器企業的25個報告，吸引了百餘位相關研究實驗室和企業的參會者。以下是部分報告介紹：

　　哈工業大學精密儀器工程研究院譚久彬教授報告的題目是《高端超精密儀器產業化探索》。據介紹，我國工業化進入中後期，高端裝備發展走到了必須發展的道路。超精密儀器技術已經是大國必爭的戰略高地，而目前我國面臨發達國家和新興國家的雙重挑戰。我國超精密儀器產業化發展存在很多問題，如理念陳舊、企業自主創新能力較低等。充分發揮大學研究所自主創新能力強的優勢，讓工科大學研發平臺與企業的產業化平臺一體化對高端精密儀器產業化將產生巨大的推動作用。譚久彬教授還介紹了團隊根據產業化需求研製的用於微納結構表徵的共聚焦掃描測量儀、面向生物醫學的立體層析共聚焦顯微鏡、快速超精密雙頻雷射幹涉儀等精密儀器測量設備。

　　譚久彬

　　中國工程物理研究院雷射核聚變研究中心袁曉東報告的題目是《Research on the Precision Assembly System for SG-III Laser Facility 》。據介紹雷射誘導慣性約束核聚變是實驗室最常用的實現核聚變的方法。大型高能雷射裝置對於方法的實現非常重要，目前在美國、法國和中國(SG-III)共有三個大型高能雷射裝置。袁曉東在報告中介紹了SG-III的設計和一體化裝配過程，LRU模型的離線精密裝配與在線準確重置能夠滿足大型雷射裝置的安裝與調試。

　　袁曉東

　　北京交通大學馮其波教授報告的題目是《System for simultaneously measuring 6DOF geometric motion errors using fiber-coupled laser》。據介紹，提高受控工具機的精度，可以從改善硬體設施或是誤差補償的方法入手。馮其波教授表示：做精密儀器「方向決定成敗、細節決定高低。」還介紹了團隊研製的單軸6自由度誤差測量系統。光纖的使用使系統熱穩定性得到了提高，可穩定的通過補償降低誤差。

　　馮其波

　　中國科學院光電研究院周維虎教授報告的題目是《飛秒雷射頻率梳精密測量技術研究》。飛秒光梳是頻率和相位完全受控的飛秒鎖模脈衝雷射。主要用於絕對距離測量、頻率測量等測量和低噪聲微波源和任意光脈衝合成。周繼虎教授介紹了飛秒光梳的實用化研製，基於該原理該團隊還研發了飛秒雷射跟蹤儀可用於臺階測量、自由曲面測量、時頻測量等方面。

　　周維虎

　　中國科學院上海光學精密機械研究所邵建達報告的題目是《Large optics metrology for SG-series laser facility》。組成大型SG雷射系統的大口徑光學元件種類多、數量大，他們的特性參數與雷射裝置的性能相關，對大口徑光學元件檢測的裝置要求很高。該團隊建立的檢測技術滿足高精度光學元件的檢測需求，部分光學元件已經優於之前NIF光學元件水平。

　　邵建達

　　來自華中科技大學的劉世元教授報告的題目為《Mueller Matrix Ellipsometry for Nanostructured Surface Metrology》。據介紹，Mueller矩陣橢偏計(MME)非常適合無損納米結構測量，對光的偏振、散射和其它特性的深入研究對於表面測量非常重要。為了將MME商品化，團隊還創建了武漢頤光科技有限公司，目前已經具備橢偏儀批量生產能力實現了MME的產品銷售。

　　劉世元

　　哈爾濱工業大學 Yi Zhou報告的題目是《Experiments on Terahertz 3D Scanning Microscopic  Imaging》。Yi  Zhou介紹了團隊研製的2.52太赫茲雙軸反射共聚焦顯微鏡，其縱向和橫線解析度分別超過了0.314mm和0.353mm。該儀器在2D和3D成像方面非常穩定，可被用於生物學、製藥等領域。

　　Yi Zhou

　　哈爾濱工業大學ChangKun Fan報告的題目是《Controlling Software Development of CW Terahertz Target Scattering Properties Measurements Based on LabVIEW(IPTA05-066)》。據介紹，該團隊開發了太赫茲目標散射特性測量的控制軟體。該軟體可手動或自動移動坐標平臺，可設置間斷頻率、測量時間等參數實現自動測量。目前該軟體已經申請得到國家專利。

　　ChangKun Fan