三星攜手ASML開發下一代EUV光刻機方面的合作

2020-12-04 電子發燒友

三星攜手ASML開發下一代EUV光刻機方面的合作

集微網 發表於 2020-12-02 10:53:41

據報導,三星正尋求加強與荷蘭半導體設備製造商ASML的技術和投資合作。

該報導稱,包括CEO Peter Burnink在內的ASML高管於上周訪問了三星的半導體工廠,討論了在EUV光刻機供應和開發方面的合作。

ASML高管與三星副董事長金基南進行了會談。業內人士認為,三星在此次會談中要求ASML供應更多的EUV光刻機,並討論了雙方在開發下一代EUV光刻機方面的合作。

據悉,三星需要更多的EUV光刻機來擴大其在全球晶圓製造市場的份額。然而,作為世界上唯一的EUV光刻機製造商,ASML向臺積電提供的設備要多於三星。

因此三星希望與ASML建立技術聯盟,以確保下一代EUV光刻機的供應。對於ASML來說,與三星的投資合作是必要的,因為開發下一代EUV光刻機需要大量投資。

該報導指出,三星希望投資開發高數值孔徑的EUV光刻機,以提高半導體微製造所需的電路解析度。該設備的價格預計為每臺5000億韓元,比目前的EUV設備高出2到3倍。ASML計劃在2023年年中推出該設備的原型,三星則希望優先獲得ASML的供應,以在技術上領先臺積電。

不過,三星一位官員表示,會議並沒有做出具體的投資決定。他說,ASML高管到訪三星是為了回應李在鎔10月份訪問ASML總部。

另有消息稱,ASML的高管此次還會面了SK海力士總裁李石熙,雙方討論了擴大UV設備供應和促進合作的途徑。
       責任編輯:pj

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