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ASML 1nm光刻機研究進展:摩爾定律尚未結束
隨著5nm光刻技術的大規模生產和3nm的突破,摩爾定律的終結變得越來越難以捉摸。可以肯定的是,隨著過程的進一步改進,其成本將成倍增加。根據日本媒體Mynavi的報導,歐洲微電子研究中心IMEC執行長兼總裁Luc Van den hove在最近一次在線活動的在線演示中表示,與ASML合作已朝著更先進的光刻技術取得了進展。本月中旬,ITF論壇在日本東京舉行。
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ASML已基本完成1nm晶片的EUV光刻機設計
在論壇上,與荷蘭商半導體大廠艾司摩爾 (ASML) 合作研發半導體光刻機的比利時半導體研究機構 IMEC 正式公布了 3 納米及以下工藝的在微縮層面的相關技術細節。x9IEETC-電子工程專輯根據其所公布的內容來分析,ASML 對於 3 納米、2 納米、1.5 納米、1 納米,甚至是小於 1 納米的工藝都做了清楚的發展規劃,代表著 ASML 基本上已經能開發 1 納米工藝的光刻設備了。
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日本光學技術全球第一,為啥造出頂尖光刻機的偏偏是荷蘭ASML?
眾多網友痛定思痛,一致支持我們國內大力研發光刻機產品,用於組建我們的晶片生產線。光刻機是什麼呢?光刻機號稱是人類最精密複雜的機器,全球能夠生產頂尖光刻機的廠商只有一家,那就是荷蘭的asml,市面上絕大多數的光刻機產品都來自於asml。晶片是怎麼形成的?光刻機是怎麼工作的呢?
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ASML新動態: 1nm光刻機都已經來了嗎?
ASML已完成1nm晶片EUV光刻機設計,並加強與臺積電和三星的合作ASML對中國大陸市場出口持開放態度,EUV等出口許可證半導體光刻與刻蝕論壇2020將於2020年12月30-31日上海召開,光刻產業鏈國際動態與國產化發展機遇將是重要內容。
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ASML正式官宣,1nm光刻機設計完成,說好的摩爾定律呢?
雖然,ASML的光刻機設備處於技術的天花板,國內想趕超不是一件易事,但之前有專家表示,半導體精準度已經向3nm邁進,而這幾乎已經逼近極值,摩爾定律即將走到盡頭。也就是說,2、3nm晶片可能會成為極限,國內的晶片廠商還是有機會趕上的,因為對手前方已經沒有路,因此我們可以奮起加速追趕。
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臺積電獨佔ASML過半光刻機產能遠超三星,EUV入華仍遙遙無期
來自國外媒體的報導,近期光刻機生廠商ASML執行長 Peter Wennink正帶領者一眾高管前往三電子,與三星高管就光刻機的供貨進行商談。本次除了技術上的合作和投資以外,關於EUV光刻機的供貨自然是其中的重點,三星晶圓業務的高管表示,希望能夠得到更多的EUV光刻機供貨,並搶在臺積電之前,拿到下一代EUV光刻機。
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一文看懂asml光刻機工作原理及基本構造
目前,國際上半導體晶片製造生產線上的主流光刻設備是248nm(KrF)準分子雷射投影光刻機,並正在向193nm(ArF)準分子雷射投影光刻機過渡。荷蘭ASML公司作為全球三大光刻機集成生產商之一,堅持不懈地進行技術創新以增強其競爭力,在全球光刻機銷售市場上居於領先地位。
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三星攜手ASML開發下一代EUV光刻機方面的合作
打開APP 三星攜手ASML開發下一代EUV光刻機方面的合作 集微網 發表於 2020-12-02 10:53:41 該報導稱,包括CEO Peter Burnink在內的ASML高管於上周訪問了三星的半導體工廠,討論了在EUV光刻機供應和開發方面的合作。
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製造1nm晶片的EUV光刻機:ASML已完成設計
論壇上,與ASML(阿斯麥)合作研發光刻機的比利時半導體研究機構IMEC公布了3nm及以下製程的在微縮層面技術細節。至少就目前而言,ASML對於3m、2nm、1.5nm、1nm甚至Sub 1nm都做了清晰的路線規劃,且1nm時代的光刻機體積將增大不少。
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中科院5nm光刻技術研發成功,但有人卻不看好,這是為什麼?
而我國之所以沒法製造出自己高端的晶片,最核心的一個零部件就是光刻機,目前國自主研發的光刻機跟國際頂尖水平還是有很大的差距的。當前我國真正量產的光刻機只有90納米,雖然28納米光刻機已經取得技術性的突破,預計2021年年底會量產,但跟國際最頂尖的asml的7納米EUV光刻機仍然有很大的差距,這種差距短期之內是不可能彌補的。
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為什麼光刻機比原子彈還難造?
光刻機,這個生僻的工業製造設備名稱,在 2020 年成為了網絡熱搜詞:它和下一代工業革命的核心產品,晶片,關係密切。沒有高精度的晶片,那些改變人類生活和經濟的核心技術,如人工智慧,虛擬實境(VR), 物聯網,下一代無線通信,都不可能實現。
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光刻機進入3nm工藝,為什麼國產光刻機18年,還在90nm?
光刻機進入3nm工藝,為什麼國產光刻機18年,還在90nm?晶片的大量生產需要依靠光刻機來進行,一個總體的匯合,而我國的光刻機研製技術和其他國家的差距是非常大的,目前為止,世界上最高技術的光刻機可以到3納米的晶片研製,但是我國的光刻機技術還停留在90納米。
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ASML(阿斯麥)已基本完成 1nm 光刻機設計
IMEC公司執行長兼總裁Luc Van den hove首先發表了主題演講,介紹了公司研究概況,他強調通過與ASML公司緊密合作,將下一代高解析度EUV光刻技術——高NA EUV光刻技術商業化。IMEC公司強調,將繼續把工藝規模縮小到1nm及以下。包括日本在內的許多半導體公司相繼退出了工藝小型化,聲稱摩爾定律已經走到了盡頭,或者說成本太高,無利可圖。
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90nm國產光刻機對比5nm ASML光刻機,差距很大
打開APP 90nm國產光刻機對比5nm ASML光刻機,差距很大 佚名 發表於 2020-04-13 17:22:30 隨著華為關注度提升後,臺積電,ASML,中芯國際等企業也備受關注,很多網友關注國產光刻機發展到了什麼地步,與ASML的差距還有多少,接下來就說一說國產光刻機和全球最強的ASML光刻機的差距。 國產最先進的光刻機來自上海微電子(SMEE),成立至今已有18年,目前這家科技企業所能生產的最頂級的晶片製造工藝是90nm。
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三星尋求加快5nm及3nm晶片製程工藝研發,加速購買EUV光刻機
加速購買EUV光刻機 外媒:三星尋求加快5nm及3nm晶片製程工藝研發 失去了蘋果訂單的三星,雖然依舊獲得了高通等公司的訂單,但在晶片製程工藝方面,三星也要落後於臺積電一段時間,相同的製程工藝,臺積電都是率先大規模投產。
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1納米EUV光刻機要來了!
imec執行長兼總裁Luc Van den hove做了主題演講,概述了該公司的研究,該公司和ASML密切合作,共同開發了下一代高解析度EUV光刻技術,即High NA EUV。他強調說,通過將光刻技術投入實際使用,摩爾定律將不會終止,並且該工藝將繼續改進到1 nm或更小。
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從光刻機的發展,看懂ASML為何是不可取替
,其中 ArF 浸沒式光刻機 63%, ArF乾式光刻機 2%, KrF 光刻機 10%, EUV 光刻設備 21%,檢測設備及 I-line1%。, 在 2012 年, 光刻技術缺少革命性的變化, 摩爾定律開始出現速度趨緩的跡象,當年全球半導體產業營收出現了 2.6%的負成長,不復以往動輒兩位數字的成長表現, 並在2015 年出現了 2.3%的負成長。
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ASML公布製造1nm的最強光刻機
11月中旬,與ASML(阿斯麥)合作研發光刻機的半導體研究機構IMEC公布了3nm及以下製程的在微縮層面技術細節。而就目前來說,ASML對於3、2、1nm都做了非常清晰的規劃,並且也公布了1nm的很多細節,從光刻機的體積來看,確實小了很多。
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荷蘭ASML突破1nm光刻機,那中國訂購的EUV光刻機呢?
ASML突破1nm光刻機目前世界上等級最高,技術最尖端的光刻機設備是EUV光刻機。這類光刻機用波長在10到14nm的極紫外光作為光源,幾乎每一個EUV光刻機的零部件都至關重要。甚至有的零部件想要調試完成,需要經過上百萬次的試驗,花費十年時間也不為過。
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什麼是光刻機?一臺上億的ASML光刻機工作原理分享
掩膜臺:承載掩模版運動的設備,運動控制精度是nm級的。 物鏡:物鏡用來補償光學誤差,並將線路圖等比例縮小。 矽片:用矽晶製成的圓片。矽片有多種尺寸,尺寸越大,產率越高。題外話,由於矽片是圓的,所以需要在矽片上剪一個缺口來確認矽片的坐標系,根據缺口的形狀不同分為兩種,分別叫flat、 notch。