逼近皮米時代!ASML 將於 2021 年推下一代 3nm EUV 光刻機

2021-01-20 IT之家

IT之家2月19日消息  IT之家獲悉,ASML正在研發新一代EUV光刻機EXE:5000系列,最快會於2021年面世。

據IT之家了解,現在ASML銷售的光刻機主要為NXE:3400B和改進型的NXE:3400C,結構上相似。差別在於NXE:3400C採用模塊化設計,將平均維護時間從48小時縮短到8-10小時;NXE:3400C的產量也從125WPH提升到了175WPH。這兩款EUV光刻機屬於第一代,物鏡系統的NA(數值孔徑)為0.33。

在光刻機的解析度公式中,NA數字越大,代表光刻機精度更高。ASML現在在研發新一代EUV光刻機EXE:5000系列,NA為0.55。主要合作夥伴有Carl Zeiss AG和IMEC比利時微電子中心。

據悉,EXE:5000系列EUV光刻機主要面向3nm時代,目前臺積電和三星的製程工藝路線圖已經到了3nm,要想讓技術儘快落地到實際,EXE:5000系列EUV光刻機的研發極為重要。

據ASML的爆料,EXE:5000系列EUV光刻機樣機最快會於2021年面世,最快可能會於2023年或者2024年上市。

光刻機是目前世界上最複雜的精密設備之一,晶片製造的核心設備之一,除了可以用來生產晶片,還有用於封裝的光刻機、LED製造領域的投影光刻機。作為全球唯一能生產EUV光刻機的公司——荷蘭ASML公司。去年共銷售26臺EUV光刻機,用於臺積電、三星的7nm和5nm工藝製造。

《兵進光刻機,中國晶片血勇突圍戰》

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