純度：超純水＞雙級反滲透水（雙級RO水）＞雙蒸水（ddH2O）＞純水（RO水）＞蒸餾水（dH2O）
超純水作為所有的實驗用水都可以，特別是高靈敏度ICP/MS、ppt級分析、同位素分析、疾控中心、藥檢所、質檢所、環監站、高校科研等標準實驗室及各種高端精密儀器用水。其他的純水及雙蒸水根據實際情況，在要求不是很嚴格的情況下也可以用的。
純度極高的水。集成電路工業中用於半導體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的製備和矽片氧化用的水汽源等。此外，其他固態電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等的製作也都要使用超純水。
超純水，是一般工藝很難達到的程度，採用預處理、反滲透技術、超純化處理以及後級處理四大步驟，多級過濾、高性能離子交換單元、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法，電阻率方可達18.25MΩ*cm
超純水是美國科技界為了研製超純材料(半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等)應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當的超臨界精細技術生產出來的水，這種水中除了水分子(H20)外，幾乎沒有什麼雜質，更沒有細菌、病毒、含氯二惡英等有機物，當然也沒有人體所需的礦物質微量元素，一般不可直接飲用，對身體有害，會析出人體中很多離子。
高純水(high-purity water,ultra-high purity water)是化學純度極高的水，其中的雜質的含量小於0.1mg/L。目前人們製成的高純水的純度已經達到99.999999%，其中雜質含量低於0.01mg/L。高純水主要指水的溫度為25℃時，電導率小於0.1us/cm ,pH值為6.8-7.0及去除其他雜質和細菌的水。
高純水，是指將水中的導電介質幾乎全部去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體和有機物均去除至很低程度的水。高純水的含鹽量在0.3mg/L以下,電導率小於0.2μs/cm。
Distillation-Distillation H2O（雙蒸水），經過2次蒸餾而得的水。雙蒸水是重蒸水的一種。 重蒸水是將經過一次蒸餾後的水，再次蒸餾所得到的水。根據實驗和科研的要求可分為：雙蒸水、三蒸水。
即通過反滲透膜過濾後的水，反滲透膜的孔徑一般為10A到100A之間，所以它耐杌去除95%以上的離子態雜質。
純水又稱純淨水、去離子水，是指以符合生活飲用水衛生標準的水為原水，通過電滲析器法、離子交換器法、反滲透法、蒸餾法及其他適當的加工方法，製得的密封於容器內，且不含任何添加物，無色透明，可直接飲用的水，也可以稱為純淨物（在化學上），在試驗中使用較多，又因是以蒸餾等方法製作，故又稱蒸餾水。市場上出售的太空水，蒸餾水均屬純淨水;但純水還是少喝為好，因為裡面並沒有太多人體需要的礦物質。純水不易導電，是絕緣體。鉛酸蓄電池補水時要使用純水。純水適合於發酵培養基的調製。
利用液體混合物中各組分揮發度的差別，使H2O汽化並隨之使蒸氣部分冷凝分離而得的水。 通過蒸餾冷凝製得的水，所以裡面的無機鹽會含的很少。如果只是經過一次蒸餾得到的水，裡面雖然那些不揮發的組分（鹽類）被除去，但水中揮發的組分（氨、二氧化碳、有機物）還是會進入蒸餾水中。
蒸餾水是指用蒸餾方法製備的純水。可分一次和多次蒸餾水。水經過一次蒸餾，不揮發的組分殘留在容器中被除去，揮發的組分進入蒸餾水的初始餾分中，通常只收集餾分的中間部分，約佔60％。要得到更純的水，可在一次蒸餾水中加入鹼性高錳酸鉀溶液，除去有機物和二氧化碳；加入非揮發性的酸，使氨成為不揮發的銨鹽。由於玻璃中含有少量能溶於水的組分，因此進行二次或多次蒸餾時，要使用石英蒸餾器皿，才能得到很純的水，所得純水應保存在石英或銀制容器內。
蒸餾水的質量標準之一是含鹽量一般在1～5mg/L左右。因為水中的含鹽量減少，水的電阻率增加，就能用測定水的電阻率來衡量水的純度。蒸餾水的電阻率要求在0.1×106Ω•cm（歐•釐米）左右。蒸餾水經過第二次蒸餾，可得重蒸餾水，它的純度更高。
把水裡的陰陽離子都除掉的水。主要通過RO膜和混床樹脂來把水中的離子除掉。但，現在也有不少人把RO水也叫去離子水，這是不準確的。 應用離子交換樹脂去除水中的陰離子和陽離子，但水中仍然存在可溶性的有機物，可以汙染離子交換柱從而降低其功效，去離子水存放後也容易引起細菌的繁殖。從自來水到去離子水一般要經過幾步處理：先通過石英砂過濾顆粒較粗的雜質，再分別依次通過陰陽離子交換柱去除離子，然後加壓通過反滲透膜，最後一般還要經過一步紫外殺菌以去除水中的微生物。假如此時電阻率還沒有達到要求的話，可以再進行一次離子交換和反滲透過程。而蒸餾水只是先氣化再冷凝，純度一般不如去離子水，實際半導體工業中用的大多數是去離子水。
去離子水是指除去了呈離子形式雜質後的純水。國際標準化組織ISO/TC 147規定的「去離子」定義為：「去離子水完全或不完全地去除離子物質，主要指採用離子交換樹脂處理方法。」現在的工藝主要採用RO反滲透的方法製取。
在半導體行業中，去離子水被稱為「超純水」或是「18兆歐水」。
通常是通過高溫蒸汽法UHT熱法化學法臭氧方法和物理過濾法將水中微生物殺死或過濾掉而得到的水。水中的無機鹽等一般來說不會減少。
1、電解質，包括帶電粒子，常見的陽離子有H+、Na+、K+、NH4+、、Mg2+、Ca2+、Fe3+、Cu2+、Mn2+、Al3+等；陰離子有F-、Cl-、NO3-、HCO3-、SO42-、PO43-、H2PO4-、HSiO3-等。
2、有機物質，如：有機酸、農藥、烴類、醇類和酯類等。
3、顆粒物。
4、微生物。
5、溶解氣體，包括：N2、O2、Cl2、H2S、CO、CO2、CH4等。所謂水的純化，就是要去掉這些雜質。雜質去的越徹底，水質也就越純淨。
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