蒸餾水是指經過蒸餾、冷凝操作的水，蒸二次的叫重蒸水，三次的叫三蒸水。低耗氧量的水，加入高錳酸鉀與酸工業蒸餾水是採用蒸餾水方法取得。一般用於實驗室或者醫用蒸餾水都是經過多次蒸餾，並且需要加入各種化學物質才能得到很純的水，所得純水應保存在石英或銀制容器內。
製取方式
自然界中的水都不純淨，通常含有鈣、鎂、鐵等多種鹽，還含有機物、微生物、溶解的氣體（如二氧化碳）和懸浮物等。用蒸餾方法可以除去其中的不揮發組成。用蒸餾法，並配合以下一些措施，可以獲取質量較高的蒸餾水（製作成本高）。
排去初始餾分（約佔原水的20%），因為揮發組分主要集中在初始餾分中。
排去殘留部分（約佔原水的20%），因為很多不揮發組分集中在殘留水中。
添加某些物質以利於蒸餾。例如，添加NaOH，使水中的CO2變成難揮發組分，添加KMnO4可氧化水中的有機物。
去離子水
就是將水通過陽離子交換樹脂（常用的為苯乙烯型強酸性陽離子交換樹脂），則水中的陽離子被樹脂所吸收，樹脂上的陽離子H+被置換到水中，並和水中的陽離子組成相應的無機酸；含此種無機酸的水再通過陰離子交換樹脂（常用的為苯乙烯型強鹼性陰離子）OH-被置換到水中，並和水中的H+結合成水，此即去離子水。去離子水在現代工業中有著非常廣泛的用途，使用去離子水，是我國很多行業提高產品質量的，趕超世界先進水平的重要手段之一。 由於去離子水中的離子數可以被人為的控制，從而，使它的電阻率、溶解度、腐蝕性、病毒細菌等物理、化學及病理等指標均得到良好的控制。在工業生產及實驗室的實驗中，如果涉及到使用水的工藝都被使用了去離子水，那麼，許多參數會更接近設計或理想數據，產品質量將變得易於控制。
高純水
就是指化學純度極高的水，其主要應用在生物、化學化工、冶金、宇航、電力等領域，但其對水質純度要求相當高，所以一般應用最普遍的還是電子工業。例如電力系統所用的純水，要求各雜質含量低達到「微克/升」級。在純水的製作中，水質標準所規定的各項指標應該根據電子(微電子)元器件(或材料)的生產工藝而定(如普遍認為造成電路性能破壞的顆粒物質的尺寸為其線寬的1/5-1/10)，但由於微電子技術的複雜性和影響產品質量的因素繁多，至今尚無一份由工藝試驗得到的適用於某種電路生產的完整的水質標準。不過近年來電子級水標準也在不斷地修訂，而且高純水分析領域的許多突破和發展，新的儀器和新分析方法的不斷應用都為制水工藝的發展創造了條件。高純水的國家標準為：GB1146.1-89至GB1146.11-89[168]，目前我國高純水的標準將電子級水分為五個級別：Ⅰ級、Ⅱ級、Ⅲ級、Ⅳ級和Ⅴ級，該標準是參照ASTM電子級標準而制定的。 4. 超純水則可以認為是一般工藝很難達到的程度，如水的電阻率大於18MΩ*cm（沒有明顯界線），則稱為超純水。關鍵是看你用水的純度及各項徵性指標，如電導率或電阻率，PH值，鈉，重金屬，二氧化矽，溶解有機物，微粒子，以及微生物指標等。
超純水
超純水則可以認為是一般工藝很難達到的程度，如水的電阻率大於18MΩ*cm（沒有明顯界線），則稱為超純水。關鍵是看你用水的純度及各項徵性指標，如電導率或電阻率，PH值，鈉，重金屬，二氧化矽，溶解有機物，微粒子，以及微生物指標等。