近日，由中科院上海微系統與信息技術研究所傳感技術聯合國家重點實驗室、中國電子學會傳感與微系統技術分會主辦，由廈門半導體投資集團有限公司、上海龍媒商務諮詢有限公司承辦的「2020(十二屆)傳感器與MEMS產業化技術國際研討會(暨成果展)」在中國廈門舉行。
本次論壇邀請了來自傳感器與MEMS領域的知名專家、高校、科、研、院、所、以及MEMS & Sensor、IoT產業鏈的企業研發負責人發表主題演講。
賽微電子（300456）董事長楊雲春在會上以「建設基於強大共性關鍵工藝製造技術的世界級MEMS代工服務平臺」為題發表演講。在他看來，目前MEMS器件(傳感器、驅動器等)已在現代社會得到廣泛應用，從傳統的航空導航、工業控制、生物醫療、礦源勘探、消費電子、安防監控，到目前火爆的5G&6G高頻通信、人工智慧、無人駕駛、萬物互聯(IOT)，MEMS產品的種類已達數千種，產生了許多與產品對應的「定製化」工藝製造技術，同時也對MEMS製造企業、特別是MEMS代工企業發出了嚴峻挑戰。
賽微電子全資子公司瑞典Silex Microsystems通過對MEMS產品工藝製造技術進行系統性分析、歸類，將各產品關鍵製造工藝進行萃取並加以對比分析，進一步得到共性關鍵工藝。再對這些工藝進行聚焦研發、IP布署，逐漸建成模塊化的大規模MEMS工藝製造體系。目前這些舉措已見成效：繼2018年位列全球MEMS代工廠商第2名之後，Silex在2019年繼續取得業內最高增速，位列全球MEMS代工廠商第1名，且首次進入全球MEMS廠商前30名。
Silex距2000年成立至今已運營近20年，一直專注於MEMS晶片的工藝開發及晶圓製造。通過長期的研發投入及運營實踐積累了極高的技術壁壘，截至2020年6月底擁有MEMS軟體著作權16項、專利147項，逐漸掌握了矽通孔、晶圓鍵合、深反應離子刻蝕等多項在業內具備國際領先競爭力的工藝技術和工藝模塊，擁有目前業界最先進的矽通孔絕緣層工藝平臺，有超過10年的量產歷史、生產過超過數十萬片晶圓、100多種不同的產品，技術可以推廣移植到2.5D和3D圓片級先進封裝平臺。為全球廠商提供過400餘項MEMS晶片的工藝開發服務，為客戶代工生產了包括微鏡、微針、矽光子、片上實驗室、微熱輻射計、振蕩器、原子鐘、超聲、壓力傳感器、加速度計、陀螺儀、矽麥克風等在內的多種MEMS產品。
2016年，賽微電子以7.5億元人民幣的價格完成對Silex的控股收購，Silex成為賽微電子全資子公司，同時也是賽微電子MEMS業務板塊的核心工廠及技術、市場支持平臺。2020年9月29日，Silex北京「8英寸MEMS國際代工線」實現通線投產。隨著瑞典MEMS產線升級擴產完成，賽微電子同時在瑞典斯德哥爾摩和中國北京兩地擁有了業界先進、高質量運營的8英寸MEMS產線，北京MEMS產線更是可以提供標準化的規模產能，有利於公司建設世界級MEMS代工服務平臺，進一步拓展全球市場尤其是亞洲市場，更好地為下遊客戶服務，同時繼續擴大公司MEMS業務的競爭優勢，繼續保持在MEMS純代工領域的全球領先地位。
近年來，全球傳感器市場一直保持快速增長，在MEMS傳感器應用前景良好和國產化進程提速背景下，賽微電子以半導體業務為核心，面向物聯網與人工智慧時代，一方面重點發展MEMS工藝開發與晶圓製造業務，一方面積極布局GaN材料與器件業務，致力於成為一家立足本土、國際化發展的知名半導體科技企業集團。
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責任編輯：wm