國內最先進的8英寸MEMS晶片生產線落戶北京亦莊

2021-01-18 新浪財經

來源:北京日報客戶端

原標題:亦莊核心科技亮出「殺手鐧」

緊挨著中芯國際、燕東微電子廠,亦莊寸土寸金的地段留給了一家成立剛10年的企業。這裡將誕生北京第一條、國內最先進的8英寸MEMS晶片生產線,投產後將以月產3萬片的設計能力搶佔海內外市場。

這樣的傳奇接連上演。作為建設全國科技創新中心主平臺「三城一區」中的「一區」,北京經濟技術開發區正圍繞國家戰略需求,在關鍵環節、核心技術、標準制定上超前布局、提早謀劃,聚焦晶片製造等關鍵核心技術培育「殺手鐧」,近三年累計研發研製出新技術、新產品各300餘項。

 育土培芯

煉就千億級高精尖產業生態

8英寸MEMS晶片生產線能布局國內並不易。

「大家熟悉的生產線側重二維空間,不斷讓晶片變得更小,而MEMS屬於集成電路特色工藝,聚焦的是三維空間,晶片內部結構也縮小至納米量級,格外考驗晶片製造實力。」投建這條生產線的耐威科技公司董事長楊雲春說。

這原本是一家主攻慣性導航的科技公司,而慣性導航系統最關鍵的零部件就是傳感器。「當時國內還沒有能在全產業鏈充分滿足需求的傳感器廠家,導航產品國產化、產業化因此一度停滯。」楊雲春說。

創新迫在眉睫。2015年,耐威科技決定收購世界最大、全球領先的MEMS晶片製造商瑞典賽萊克斯公司,為國內MEMS產業的彎道超車另闢蹊徑。但僅靠一家如此年輕的企業就想吞下國際領先的純MEMS代工企業,難度可想而知。跨國談判歷時近兩年,最終在經開區的支持和幫助下,耐威科技成功收購瑞典賽萊克斯,月產3萬片的傳感器生產線落子北京亦莊,項目量產後年產值不低於20億元。「這一條生產線還會帶動產業上下遊各方合力攻克自主技術難關。」經開區負責人說。

日曆翻回17年前——中芯國際的廠房在亦莊破土動工,正式開啟了經開區的追「芯」之路。但集成電路產業是典型的技術密集型、資金密集型產業,企業想實現突破,錢是最大的難題。為此,經開區利用區內投融資平臺參與設立16隻基金,總規模超4000億元,支持集成電路產業發展。17年來,中芯國際(北京)擁有了目前大陸月產能最大且唯一盈利的12英寸代工線;北方華創成為國內最大的集成電路設備提供商;威訊半導體佔據了全球移動通信射頻和基帶晶片產品封裝近50%份額……

「產業鏈上各環節的企業會聚攏在這些龍頭企業周圍,煉就出完整的集成電路產業鏈。」經開區管委會主任梁勝說,這裡已逐步成為全國集成電路產業聚集度最高、技術水平最先進的區域。

這也是經開區布局高精尖產業、走高質量發展之路的一個縮影。亦莊如今已形成電子信息產業、裝備製造產業、生物工程和醫藥產業、汽車及交通設備產業等四大主導產業「四足鼎立」的局面,上萬家科技型企業、超千家國家級高新技術企業、一批各行業的創新型龍頭企業正在這裡排列組合,產生化學反應,形成龐大的創新企業「雁陣」,多個千億級產業集群正在形成。

 披荊斬棘

三年300項新技術破題

永昌工業園600多平方米的千級潔淨間裡,測試人員「全副武裝」,將目光聚焦在顯微鏡鏡臺上。幾十根線路從設備上引出,數以萬計的數據源源不斷生成。這是全球第一款真正意義上的高通量掃描電子顯微鏡,可將物體放大100萬倍,時間卻可縮短20倍。

神奇的「微觀相機」擅長觀測材料微觀結構,被廣泛應用在材料、生物、醫學和半導體等多個研究領域。然而,由於國內高質量電子光學系統研製生產困難等原因,各行各業不得不每年花費上億美元從海外採購。掃描電鏡也因此被視為我國關鍵核心技術難題。

「更關鍵的是,航發材料、晶片研發等都需要藉助它來進行研究。」聚束科技(北京)有限公司創始人李帥說。

2015年,在各方都不看好的情況下,李帥和另兩位創始人選擇從薪水豐厚的外企離職,跨行創業。鏖戰兩年,關鍵零部件難題逐一解決。眼看距成功僅有一步之遙,團隊突然發現噪音過大影響觀測的問題。

團隊選擇從頭再來,逐一篩查幾十套設備的噪音源,確保樣機最終達到設計標準得以上線,讓世界知道中國人研發出了全球水平最高的掃描電鏡。「同樣是蒼蠅腦神經切片觀察,外國的傳統電鏡得用一兩年,而我們只需一個月。」李帥驕傲地說。

傳奇故事在這裡接連上演:北京欣奕華科技有限公司破題國產光刻膠量產難題,如今已具備年產3000噸以上光刻膠的生產能力,助力我國逐步打破彩色光刻膠主要依賴進口的被動局面。

關鍵核心技術是要不來、買不來、討不來的。

「經開區鼓勵區內企業加大研發投入力度,真正掌握核心技術,打破國際壟斷,圍繞『白菜心』,聚焦關鍵核心技術,攻關『硬技術』。」經開區工委書記王少峰說,今年經開區已掛牌20個技術創新中心,完成114項新技術,115項新產品,其中國際領先、填補國際空白的新技術21項、新產品37項。

 破除關隘

「三城」成果加速亦莊轉化

從中關村的「夢想實驗室」來到亦莊的「創新工廠」需要多長時間?北京數字光芯科技有限公司創始人孫雷給出了答案:3天。提出設立產業化公司後3天,他就拿到了亦莊辦公地的鑰匙。

數字光晶片可用在3D印表機上,屬於我國一項技術短板。而孫雷所經營的這家研發數字光晶片的公司,已經潛心研究了20多年。

最快落地紀錄如何創造?在此之前,中科院這個項目的中試需求被發現,經開區依託已掛牌的第三代半導體功率器件製造與驗證中試基地將孫雷引來,幫助他跨越了從實驗室到規模生產的「達爾文之海」。還沒等孫雷提什麼具體要求,相關部門負責人就帶著他到中芯國際、京東方等上下遊企業對接了。

數據顯示,經開區已認定掛牌13家中試基地,僅2019年就累計開展服務319項,合同金額約9億元;通過引導建設、定製廠房等方式,布局亦昭生物醫藥中試研發生產基地等一批規模化中試基地,總投資106億元,將在2022年陸續建成並投入使用。

看得見的是數據,看不見的是經開區在科技創新和成果轉化上的持續發力。同為北京建設全國科技創新中心的鼎足之地,經開區已與三大科學城成為了一個緊密的發展共同體,密不可分。「三城」與「一區」的互動,恰恰要解決科技成果轉化的世紀難題,讓科技成果「找得到」「引得來」「落得下」:經開區與中關村聯合出臺促進生物醫藥產業發展政策,吸引生物醫藥項目在經開區轉化落地,同時牽頭與北大、清華等7家高校對接,建立成果轉化項目庫;中關村科技成果產業化先導基地落子北京亦莊,讓高端研發在海澱、成果轉化首站在經開區,並擴容科技基金,將科技基金規模從每年2億元擴增至5億元;中芯國際、京東方、泰德、北京奔馳這些「金字招牌」主動對接三大科學城,牽手國內外重點高校及科研院所,尋求各領域關鍵技術創新突破。

數據顯示,經開區通過「政府籤約落地、孵化載體承接、企業自主對接」等多種方式,積極承接「三城」科技成果落地轉化,近三年成果轉化落地項目數量總計340餘項。「我們還將繼續打造創新中心,實現與源頭性機構的資源嫁接與創新協同,優化科技成果落地轉化環境,著力打造具有全球影響力的科技成果轉化承載區。」梁勝說。

相關焦點

  • 月產能1萬片 賽微電子8 英寸MEMS國際代工線一期正式投產
    原標題:月產能1萬片,賽微電子8 英寸MEMS國際代工線一期正式投產   9月27日,賽微電子
  • 北京首條MEMS晶片生產線正式投產!
    北京首條MEMS晶片生產線正式投產!今天,發改君便帶來一個與晶片有關的好消息——北京市重點支持的、由賽微電子控股子公司賽萊克斯(北京)公司投資建設的「8英寸MEMS國際代工線建設項目」,近日在經開區正式通線運行。據了解,該生產線現階段月產能為1萬片,達產後將形成3萬片/月的生產能力。這標誌著北京市首條商業量產、全球業界最先進的8英寸MEMS晶片生產線進入實際生產階段。
  • 北京亦莊:集成電路國產設備走向「前臺」
    截至今年11月,中芯國際北京廠使用國產設備加工的12英寸正式產品晶圓加工突破1000萬片次。這標誌著國產設備技術和市場競爭力邁上了一個新臺階,也意味著在以精密、嚴苛著稱的集成電路生產領域,國產設備正通過進口替代,穩步走向「前臺」。
  • 半導體mems企業有哪些_國內十大半導體mems企業排行榜
    國內十大半導體mems企業排行榜——歌爾聲學股份有限公司   歌爾聲學股份有限公司成立於2001年,屬於省級高新技術企業,與中科院聲學所、北京郵電大學等國內外多家知名高校和科研機構建立了長期的戰略合作夥伴關係,致力於電聲領域前沿技術的基礎研究和新技術、新產品的開發。
  • 上海華力12英寸先進生產線首臺工藝設備搬入
    新華社上海5月21日電(記者高少華)上海華力集成電路製造有限公司建設和營運的12英寸集成電路生產線項目21日實現首臺工藝設備——光刻機搬入,這也是目前中國大陸集成電路生產線上最先進的浸沒式光刻機。華力12英寸先進生產線建設項目總投資387億元人民幣,被列為國家《「十三五」集成電路產業重大生產力布局規劃》,也是「十三五」期間上海市重大產業項目和上海市重大工程。華力12英寸先進生產線建設項目主要從事邏輯晶片生產,重點服務國內設計企業先進晶片的製造需求。根據規劃,該項目將建成月產能4萬片的12英寸集成電路晶片生產線,工藝覆蓋28-14納米技術節點。
  • 最受晶片企業歡迎的十大城市
    這裡誕生了國內第一塊超大規模集成電路,無錫現已是全國第二個集成電路產業突破千億元的城市。無錫SK海力士、華潤微電子的12英寸和8英寸晶圓代工廠代表了國內高端製造水平。其中,無錫SK海力士為江蘇省單體投資規模最大、技術水平最高、發展速度最快的外資投資企業。
  • 遂寧欲建國內最大6英寸晶片生產基地
    遂寧欲建國內最大6英寸晶片生產基地       本報訊(記者袁敏)8月18日,燕東微電子投資四川廣義微電子籤約儀式在遂寧經開區舉行。
  • 8英寸MEMS製造與微系統集成工程建設項目落戶蚌埠
    打開APP 8英寸MEMS製造與微系統集成工程建設項目落戶蚌埠 圖圖 發表於 2020-12-04 14:27:55 12月3日下午,8英寸MEMS製造與微系統集成工程建設項目籤約暨啟動儀式舉行。
  • 一線調研|MEMS為下一個風口,賽微電子北京產線投產受資金追捧
    9月29日財聯社記者到賽微電子亦莊廠區進行了實地調研,對新上馬的生產線做更詳細的了解。更加注重量產、良率和價格競爭力9月28日公告顯示,具體運營「 8 英寸MEMS 國際代工線」的公司為賽萊克斯微系統科技(北京)有限公司(以下簡稱「賽萊克斯北京」),由賽微電子和國家集成電路產業投資基金股份有限公司共同出資設立,持股比例分別為70%和30%。
  • 上海最大集成電路投資項目華力12英寸先進生產線首臺工藝設備搬入
    原標題:未來月產能4萬片,上海最大集成電路投資項目華力12英寸先進生產線首臺工藝設備搬入  今天上午,在上海浦東新區康橋工業園南區,由華虹集團旗下上海華力集成電路製造有限公司建設和營運的12英寸先進生產線建設項目(以下簡稱「華虹六廠」)實現首臺工藝設備——光刻機搬入,標誌著華虹六廠從基建階段進入工藝設備安裝調試階段。
  • 國內首套高能雷射器在亦莊誕生
    此產品「亦莊智造」以高質量、低成本的優勢,填補了國內在準分子雷射技術領域的空白,打破了國外廠家對該技術產品的長期市場壟斷。「您現在看到的這個大型器械就是科益虹源自主研發的準分子雷射器,它主要分為三層,每一層的作用都不盡相同。」
  • 晶片產業又迎來「山東造」,德州8英寸半導體級單晶矽片拉製成功
    從籤約到拉製成功僅僅用了兩年時間9月8日,在山東有研半導體材料有限公司的單晶製備車間,直拉一車間帶班長端木榮博和幾名員工正聚精會神地看著儀器上的各種數據。「第一根半導體級八英寸直拉單晶矽棒就是從這個爐子裡拉製成功的。」端木榮博指著位於車間最裡邊的一個生長爐說。
  • 中芯紹興正在規劃建設6英寸化合物半導體生產線和12英寸數模混合...
    據悉,目前,中芯紹興正在規劃建設的6英寸化合物半導體生產線和12英寸數模混合生產線,將有力推動紹興成為集成電路第三代半導體領域的「探路者」和「領航者」。    圖片來源:今日越城  值得注意的是,同日,中芯集成電路製造(紹興)有限公司化合物半導體生產線項目籤約落戶浙江紹興
  • 丟了蔚來撿極星,北京亦莊國投的奇葩投資邏輯讓人大跌眼鏡
    然而,去年放棄投資蔚來汽車大好機會的北京亦莊國際投資發展有限公司(下稱「亦莊國投」),卻反其道而行。「極星已和亦莊國投籤署了戰略合作協議。」據財聯社報導,有知情人士透露,未來極星中國總部和極星汽車全國旗艦展廳都將落戶北京亦莊,也就是說,效仿「蔚來模式」。放棄一年內身家暴漲約20倍的「網紅新勢力」蔚來,卻去投資銷量低微、乏人知曉的極星,這不是揀了芝麻丟了西瓜麼?這波神操作,真讓人大跌眼鏡。
  • 中國首個高標準12英寸晶圓廠落戶,國產芯開始提速
    中國首個高標準12英寸晶圓廠落戶,國產芯開始提速。近日聞泰科技投資120億在上海建設的首個12英寸規級晶圓廠成功落戶,對我國半導體發展具有積極意義。從前對科技無國界的幻想,使得對投資大耗時長的光刻機以買為主,結果被老美打到了七寸,徹底成了晶片製造的軟肋。中芯國際花8.3億向ASML購買的光刻機屢被放鴿子,甚至被嘲即使拿到世界上最先進的光刻機也造不出高端晶片。現在國內大部分手機廠商的晶片還只能通過購買解決,尤其是高通,就算漲價也無可奈何。
  • 12英寸集成電路生產線今年底試投產
    1月19日,「909工程升級改造———12英寸集成電路生產線項目」啟動儀式在上海宏力半導體製造有限公司舉行。本文引用地址:http://www.eepw.com.cn/article/105460.htm  中國科學院副院長江綿恆,上海市委常委、常務副市長楊雄出席項目啟動儀式,並分別代表中國科學院和上海市委、市政府對「909工程升級改造———12英寸集成電路生產線項目」的啟動表示祝賀。
  • memsstar談MEMS刻蝕與沉積工藝的挑戰
    2 將舊CMOS轉換為MEMS生產線  儘管歐美國家多年來一直在推動MEMS創新,但直到現在,還沒有一家建立MEMS專用工廠。雖然有些公司有MEMS工藝生產線,但它們並不一定是最先進的。相反,是二次利用舊半導體工廠的方式,為它們注入新的活力。將舊CMOS半導體製造設備的富餘生產能力轉換為MEMS生產線可能是中國可以考慮的一種方法。
  • 北京「選手」閃亮機器人大會
    國際上唯一能夠覆蓋創傷及脊柱全節段手術的骨科手術機器人「天璣」;擁有準確率高達98%的人臉識別技術的優必選Walker人形機器人;獲得國際設計大獎的「選美皇后」T5協作機械臂;工業機器人「關節」關鍵零部件……在世界機器人大會上,以北京機器人選手為代表,國產機器人產業帶著諸多填補空白、趕超世界先進水平的成果,上演了一場高科技年度匯演
  • 士蘭微電子12吋晶片生產線正式投產
    打開APP 士蘭微電子12吋晶片生產線正式投產 世界半導體論壇 發表於 2020-12-28 11:15:16 12月21日,士蘭微電子
  • 多地再迎集中簽約、開工潮,富樂德年產180萬枚晶圓再生、惠科6英寸...
    青島惠科6英寸晶片項目主體廠房封頂5月19日,青島惠科六英寸晶圓半導體功率器件項目晶片廠房封頂儀式在青島舉行。青島市即墨區工業和信息化局官方消息顯示,項目一期投資約30億元人民幣,生產半導體分立器件、碳化矽器件、電子元件等,新上晶片和先進晶圓晶片級成管封裝生產線及配套系統。項目建成後,將實現年產240萬片6英寸功率器件晶片晶圓以及120萬片WLCSP先進封裝晶圓,成為國內單體產出最大的功率器件生產線,聚力打造國內最大的功率器件生產基地。