光圈、局部光圈與PV、RMS之間的關係與區別

2021-03-01 光學在線

面型是光學製造中的重要精度指標之一，簡單來說是表面不平整度；這就好像鋪水泥路面，鋪的好的表面很平整，沒有坑坑窪窪，車子開過去好的路面很平穩、不好的坑坑窪窪的，就顛簸得厲害！面型的兩個參數PV和RMS值，PV是表示路面的最高處與最低處的差值，RMS值是全部路面高低的平均值；因此PV值能夠做到0.1個波長，RMS值至少在0.02左右，一般來說，PV值是RMS值的6-8倍。目前很多商家說出所謂的1/8波長或1/10波長實際上多指RMS值，其PV值往往達不到1個波長，而良好的天文觀測器材應該具備PV=1/2波長才算是精度比較的。

在實際中，光學圖紙對光學零件的要求用光圈數（N）和局部光圈表示，而在加工出來後用ZYGO幹涉儀檢測卻是pv和rms值,用ZYGO可以測出光圈，局部光圈，PV。RMS。不同的設置測出來的是不同的。並不是出來的都是PV。光圈和PV的關係是：光圈好的。PV肯定好。PV好的。光圈不一定好。PV是光圈的波峰和波谷的相對值。不考慮局部誤差的影響。說光圈時一般要考慮局部光圈誤差的影響。

儀器測量光學零件的光圈（N）,讀的不是很準，要讀的話就是軟體上面surface map中的power值，不過要把單位轉化成光學單位。至於局部光圈讀profile map中的pv直，很準確，把surface map 中的line放在最高點和最低點位置，看高或低所佔的pv的比例就行。

圖紙中的光圈數是加工元件與樣板的偏差而產生的幹涉條紋數；而幹涉儀測量時，參考球半徑（類似於樣板半徑）可變，條紋多少是可以變化的，測量結果（PV和RMS值）是加工元件與最接近參考球的偏差

一道圈是面型偏差有二分之一個波長大小,546.1nm是標準波長,PV是面型偏差的最大值,除以546.1就是幾分之幾波長,和二分之一個波長比較,有幾個二分之一波長就有幾道圈.

總之，光圏和PV、RMS是兩種不同的評價標準。局部光圈如果作為PV來評價的話，是比對的PV值還要高。

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