符號 中文名稱 英文名稱
HF 氟化氫 hydrogen fluoride
BF3 三氟化硼 boron trifluoride
WF6 六氟化鎢 Tunglsten Hexafluoride
NF3 三氟化氮 nitrogen trifluoride
SF4 四氟化硫 Sulfur Tetrafluoride
CLF3 三氟化氯 Chlorine Trifluoride
POCL3 三氯氧化磷 Phosphorus oxychloride
HF 氟化氫 hydrogen fluoride
BF3 三氟化硼 boron trifluoride
WF6 六氟化鎢 Tunglsten Hexafluoride
SF4 四氟化硫 Sulfur Tetrafluoride
CLF3 三氟化氯 Chlorine Trifluoride
POCL3 三氯氧化磷 Phosphorus oxychloride
PH3 磷化氫 phosphine
C4F6 Hexafluorobutadiene
CH2F2 二氟甲烷 Difluoromethane
C5F8 八氟環戊烯 octafluoroyclopentene
CH3F 氟代甲烷 methyl fluoride(r41)
SF6 六氟化硫 Sulfur Hexafluoride
CO 一氧化碳 carbon monoxide
H2 氫 hydrogen
CL2 氯 chlorine
F2 氟 fluorine
HCL 氯化氫 hydrogen chioride
DCS 二氯甲矽烷 DiChlorosilane
BCL3 三氯化硼 boron trichloride
HBr 溴化氫 hydrogen bromide
B2H6 硼乙烷 diborane
GeH4 鍺烷 germaniumtrtrahydride
NH3 氨 ammonia
O2 氧氣 Oxygen
SIH4 矽烷 silane
SI2H6 乙矽烷 disilane
TMB 三甲硼 Trimethoxy Boron(TMB) B(OCH3)3
TMP 三甲亞磷 Trimethyl Phosphite (TMP) P(OCH3)3
TEOS TEOS四乙基原矽酸酯 Tetraethoxysilane (TEOS) SI(OC2H5)4
ASH3 砷化三氫 Arsine
O3 臭氧 ozone
Br2 溴 bromine
CLO2 二氧化氯 chlorine dioxide
CO2 二氧化碳 Carbon Dioxide
H2S 硫化氫 hydrogen sulphide
HCN 氰化氫 hydrogen cyanide
H2 氫 hydrogen
CH4 甲烷 Methane
NO2 二氧化氮 nitrogen trifluoride
NO 一氧化氮 nitric oxide
SO2 二氧化硫 sulfur dioxide
BF3 三氟化硼 Boron Trifluoride
HF 氟化氫 Hydrogen Fluoride
NF3 三氟化氮 Nitrogen Trifluoride
WF6 六氟化鎢 Tungsten Hexafluoride
SiH4 矽烷 Silane (SiH4) (Low Level)
ASH3 砷化三氫 Arsine
PH3 磷化氫 phosphine
B2H6 硼乙烷 diborane
SIH4 矽烷 SiH4 silane
GeH4 鍺烷GeH4 germaniumtrtrahydride
H2Se 硒化氫 H2Se Hydrogen Selenide
TBA 特丁基砷化三氫 TBA Tertbutylarsine
AsH3 砷化三氫AsH3 (幹) Arsine
Cl2 氯氣 II Cl2 chlorine
NO2 二氧化氮NO2 nitrogen trifluoride
CLO2 二氧化氯CLO2
Cl2 氯氣 III Cl2 chlorine
Cl2 氯氣 III Cl2 chlorine
NO2 二氧化氮 NO2 nitrogen trifluoride
HCL 氯化氫 HCI hydrogen chioride
HF 氟化氫 HF Hydrogen Fluoride
HCL 氯化氫 HCI (低級別l) hydrogen chioride
HBr 溴化氫 HBr hydrogen bromide
HI 碘化氫 HI Hydriodic acid
MMH 一甲基肼MMH
NH3 氨 II NH3 ammonia
COCL2 碳醯氯COCL2 Phosgene
H2S 硫化氫 H2S hydrogen sulphide
HCN 氰化氫HCN hydrogen cyanide
N2H4 肼N2H4/Hydrazine
H2S 硫化氫 H2S hydrogen sulphide
H2S 硫化氫 H2S (低級別) hydrogen sulphide
COCL2 碳醯氯-高範圍 XP COL2 Phosgene
NF3 三氟化氮NF3 (CM4-Ponly) nitrogen trifluoride
BF3 三氟化硼BF3 (低級別) boron trifluoride
AsH3 砷化三氫XP AsH3 Arsine
PH3 磷化氫 XP PH3 phosphine
SiH4 矽烷XP SiH4 silane
B2H6 硼乙烷 XP B2H6 diborane
GeH4 鍺烷XP GeH4 germaniumtrtrahydride
COCL2 碳醯氯XP COCL2 Phosgene
F2 氟F2 fluorine
AsH3 砷化三氫/LL XP AsH3 (低級別l) Arsine
HBr 溴化氫 HBr (低級別) hydrogen bromide
TDMAT 四(二甲基氨) 鈦TDMAT Titanium dimethylamide
Cl2 氯氣Cl2 chlorine
H2S 硫化氫 H2S hydrogen sulphide
H2S 硫化氫 H2S (低級別) hydrogen sulphide
H2S 硫化氫幹 H2S/D hydrogen sulphide
TBA 特丁基砷化三氫XP TBA Tertbutylarsine
TBP 特丁基磷化氫XP TBP Tertbutylphosphine
H2Se 硒化氫H2Se Hydrogen Selenide
Cl2 氯氣 Cl2 XP chlorine
DMA 二甲基胺DMA
NO2 二氧化氮NO2 nitrogen trifluoride
CH3F 氟代甲烷CH3F methyl fluoride(r41)
C5F8 八氟環戊烯 octafluoroyclopentene