在寄生參數提取中，除了需要關注金屬導體的寄生電容外，還需要分析mos器件的節點寄生參數提取是否準確。
下面是一個典型的mos管器件：
該mos管的4個節點D, G, S, B的寄生電容值是否準確呢？
我們首先用calibre xrc提取一下其寄生參數，結果如下：
cc_1 S G3.32511f
cc_2 S D6.73464e-19
cc_3 S B12.7622f
cc_4 G D3.32511f
cc_5 G B 1.16212f
cc_6 D B 12.7506f
上述寄生電容分為4類：
a.Gate到Source,Gate到Drain電容
b.Source到Bulk,Drain到Bulk電容
c.Gate到Bulk的電容
d.Source到Drain的電容
由於在spice model中一般會自動把上述4類電容考慮，如果寄生參數提取中再提取一遍，就會重複提取。
因此，需要把這4類電容屏蔽，屏蔽的方法是：
PEX IGNORE CAPACITANCE ALL poly nsd
（屏蔽G 到 S， G到D ）
PEX IGNORE CAPACITANCE ALL poly psd
（屏蔽G 到 S， G到D ）
PEX IGNORE CAPACITANCE DEVICE INTRINSIC poly ALLGATE
(屏蔽 G 到 B , 其中ALLGATE是mark layer)
設置上述3個參數後，提取結果如下：
cc_1 S D 0.00129446f
cc_2 S B 12.7622f
cc_3 G B 0.211916f
cc_4 D B 12.7506f
可以看到，G到S的電容和G到D的電容沒有了，被屏蔽掉了。G到B的電容比剛才的值小了，說明在mos管區域的電容被屏蔽了，只剩下Gate露頭的電容了。這個符合預期。
但是，S到B的電容和D到B的電容沒有屏蔽掉，該如何設置呢？
首先看一下，在原始的工藝文件定義中，有如下語句
diffusion = diff {
thickness = 0.004
min_width = 0.15
min_spacing = 0.18
resistivity = 10
src_drn_layers = {nsd_ psd_}
}
注意紅色字體的diffusion，src_drc_layers是關鍵字，nsd_ psd_是兩個process layer。
calibre命令文件中原來有如下語句：
PEX MAP diff NTAP PTAP nsd psd
它把nsd, psd映射到了diff層，但是沒有告訴工具映射到nsd_ psd_層。
如果修改該語句如下：
PEX MAP diff NTAP PTAP
PEX MAP nsd_ nsd
PEX MAP psd_ psd
當calibre xrc識別到該語句後，自動會把nsd之間的相互電容屏蔽掉，也自動會把nsd到襯底的電容屏蔽掉，自動會把psd到襯底的電容屏蔽掉。
屏蔽後，提取結果如下：
cc_1 S B 0.0777512f
cc_2 G B 0.211916f
cc_3 D B 0.0540989f
以上3個電容都是連接到mos管的金屬之間的耦合電容了，電容值很小，不是器件本身的電容，符合預期。
如果用戶在原始的工藝定義中沒有用diffusion的關鍵字，而是用conductor的關鍵字，如下：
conductor = diff {
thickness = 0.004
min_width = 0.15
min_spacing =0.18
resistivity = 10
}
則用戶需要增加額外的語句來屏蔽source到 drain，source到襯底的寄生電容。
PEX IGNORE CAPACITANCE ALL poly nsd
（屏蔽G 到 S， G到D ）
PEX IGNORE CAPACITANCE ALL poly psd
（屏蔽G 到 S， G到D ）
PEX IGNORE CAPACITANCE DEVICE INTRINSIC poly ALLGATE
(屏蔽 G 到 B )
PEX IGNORE CAPACITANCE DEVICE INTRINSIC nsd ALLGATE
(屏蔽 S 到 B, D到B )
PEX IGNORE CAPACITANCE DEVICE nsd nsd ALLGATE
(屏蔽 S 到 D )
可以看到，這種寫法比較繁瑣，不如前面的方法簡潔。
總結，屏蔽掉spice model中的寄生參數最簡單的方法是：在工藝文件定義中用diffusion的關鍵字，用src_drn_layers指定具體的layer名稱。然後在提取命令文件中，把gate的電容通過PEX IGNORE語句來屏蔽掉，不需要寫source ,drain的屏蔽語句。
以上給出了calibre xrc屏蔽寄生電容的方法，那麼，其它寄生參數提取工具該如何屏蔽寄生電容呢？我們將在後續的文章中討論。