南大光電:ArF光刻膠開發和產業化項目計劃年底接受「02專項」專家...

2021-01-09 愛集微APP

集微網消息 7月17日，南大光電在互動平臺表示，公司「ArF光刻膠開發和產業化項目」正在按計劃正常推進，項目計劃2020年底接受「02專項」專家組的驗收。目前研發的光刻膠產品正在客戶驗證階段，驗證預計需要1年左右的時間。

南大光電稱，由於光刻膠產品驗證周期較長，通常需要18個月，甚至更長的時間。即使驗證通過後，客戶也會謹慎地使用國產光刻膠產品，逐步放量。ArF光刻膠是一個高難度、高投入，高風險，回報周期長的高科技項目。

近日，南大光電全資子公司寧波南大光電材料有限公司(以下簡稱「寧波南大光電」)近日收到寧波市北侖區經濟技術開發區管委會撥付的地方財政補貼人民幣1,584.47萬元，用於實施科技部「02專項」之「ArF光刻膠產品的開發與產業化」課題。

據悉，寧波南大光電材料有限公司是江蘇南大光電材料股份有限公司於2018年1月在北侖區芯港小鎮成立的光刻膠配套材料子公司。項目總投資15.6億元，將年產25噸ArF光刻膠。

今年4月16日，寧波南大光電材料有限公司浸沒式光刻機搬入儀式舉行。在國家「02專項」和北侖區政府的支持下，南大光電購買了193納米浸沒式光刻機，用於光刻膠產品開發。（校對/Lee）

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