國產光刻機打破核心技術壟斷,中高端離子注入機實現國產化

2020-12-23 湖北青年郭仕亮

發展國產晶片是·14億中國老百姓的夢想，要想造出我們的「中國芯」，就必須要打破很多核心裝備的進口依賴，只有設備的國產化，我們才算是不被人「卡脖子」。在這幾年的國家重點支持下，很多半導體核心設備實現了中高端國產化，離子注入機就是其中一個非常重要的突破，打破了歐美廠商獨霸天下的局面。

離子注入機是半導體產業中非常關鍵的設備，沒有這種設備，後面的晶片製造工序就無法展開。長久以來，這種高端設備的製造技術一直掌握在美國應用材料公司手中，這家公司佔據全球70%的市場份額。即便是我們有自己的國產光刻機設備，如果沒有這種「離子注入機」，光刻機就無法完成晶圓製造。直到2017年8月，我們國家才擁有國產商用的「離子注入機」。

離子注入機為什麼這麼重要？先來了解一下晶片的製造原理。在半導體原理上，有P型半導體和N型半導體，硼原子和磷原子都是半導體電子有序流動的關鍵物質，科學家把它們結合成「PN結」，形成單向導電，加上導向就成了二極體。怎麼把硼原子和磷原子注入到晶圓上呢，這就是離子注入機的作用，少了它，光刻機就做不成半導體晶片了。

把離子注入機實現國產化的廠商是電科裝備公司，是國內唯一具備成套離子注入機製造的廠商，其研發的離子注入機已經被應用到中芯國際生產線，雖然暫時無法達到美國應用材料公司的高端設備水平，但已經是0的突破了，未來必將打敗美國廠商

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