硬質有機晶片熱壓機可以進行熱壓處理的機器,它是循環操作類型.將上下壓板安裝於真空加熱爐內部,本機具有結構緊湊、操作方便等優點.用於PMMA、PC、COC等硬質塑料晶片的封合,硬質塑料微流控晶片加工專用設備。
真空熱壓機
真空熱壓機特點
1、使用恆溫控制加熱技術,溫度控制精確,溫度採樣頻率為0.1s
2、不鏽鋼工作平臺,上下面平整,熱導速度快,熱導均一
3、加熱面積大,涵蓋常用大小晶片
4、自動降溫系統,採用水冷降溫,降溫速率均一,有利用獲得較好的鍵合效果
5、壓力自動可調,針對不同的材料選用不同的壓力控制
6、採用獨特的真空熱壓系統,在保證晶片不損壞的情況下大幅度提高鍵合成功率
真空熱壓機結構特徵圖解
真空熱壓機結構特徵圖解
1. 增壓缸 增壓開關 2. 增壓缸 預壓開關 3. 數字式壓力表 4. 下板數字式溫控表
5. 上板數字式溫控表 6. 下板加熱開關 7. 上板加熱開關 8. 水泵開關
9. 增壓缸 10. 真空壓力表 11. 設備把手 12. 密封圈 13. 密封艙門
14. 玻璃觀察窗 15. 真空箱把手 16. 調節閥 17. 液體進氣口
18. 真空泵出氣口 19. 進氣球閥 20. 增壓缸氣體迴路口 21. 冷卻水出口A
22. 冷卻水進口 23. 冷卻水出口B 24. 直流電插口
註:以上圖案以實物為準,如有變動恕不另行通知。
20噸真空熱壓機
晶片真空熱壓機操作流程
a.在運行過程中若突然出現故障,需要檢查氣缸或電子元器件時,一定要關閉電源開關,撥掉電源插頭,將進氣調壓表反時針旋轉歸零,等到強度指示的數字式電壓表參數顯示歸零後才能進行檢修,否則有危險!!!
b.如在鍵合過程中使用有機溶劑進行輔助鍵合,則應嚴格按照本使用手冊中操作指南的第12條要求執行。
c.關停真空泵電源開關前必須先關閉箱體與真空泵的閥門,以保證抽氣管路中的負壓降低到零,避免當關停真空泵後,可能造成真空泵內的真空油從抽氣孔處返回到抽氣管路中。
生產廠家設備
註:清點包裝箱內的附件和印刷資料,箱內的附件和資料請按照裝箱清單對照檢查。
文章出處:http://www.szetool.com.cn/zkryj/30.html