KLA-TENCOR推出新型 P-6 表面輪廓儀系統

2021-01-07 電子產品世界

　　KLA-Tencor 公司（納斯達克股票代碼：KLAC）今天發布其最新的探針式表面輪廓測量系統 P-6™，該系統針對科學研究與生產環境（例如，光電太陽能電池製造）提供一組獨特的先進功能組合。P-6 系統受益於在先進半導體輪廓儀系統上開發的測量技術，但卻採用了較小與較經濟的桌面型機臺設計，可接受最大至 150 毫米的樣本。

本文引用地址：http://www.eepw.com.cn/article/85841.htm

　　KLA-Tencor 的成長與新興市場集團副總裁 Jeff Donnelly 表示：「我們對 P-6 探針系統的推出感到振奮，該系統將為科學與太陽能客戶提供在應用方面的最佳功能組合。對於太陽能市場，P-6 擁有在開發階段提高太陽能電池效率，以及監控生產製程質量所需的解析度、掃描質量和自動控制能力。」

　　融合 KLA-Tencor 的自動化 P-16+ 探針式輪廓儀的眾多功能，P-6 探針式輪廓儀充分承襲了最佳技術與效能的傳統：

　　•低噪聲基底可改善表徵微小表面特徵的測量靈敏度
　　•小於 6 埃的步進高度可重複性，確保了嚴苛的製程控制
　　•150 毫米 X-Y 樣本載臺可實現覆蓋整個基底的單一測量
　　•2D 應力測量與分析可將缺陷降至最低並提升良率
　　•功能強大且容易使用的分析軟體，提供高階應用的靈活性

　　P-6 輪廓儀已通過主要太陽能產品製造商 BP Solar 的合格認證。BP Solar 技術副總裁 Eric Daniels 表示：「我們對 KLA-Tencor 的 P-6 系統的評估證明，它對於多種表面測量應用系統的一系列製程條件具有高靈敏性，其中包括 ARC 薄膜、導線觸點及前表面紋理結構。對於支持我們的技術開發與生產改善，P6 將發揮重要價值。」

　　P-6 系統將於 2008 年 7 月 15 至 17 日在舊金山舉辦的 InterSolar 北美展會第 9252 號 KLA-Tencor 展臺上展出。


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