SuperView W1光學3D表面輪廓儀輪廓分析操作介紹

2021-01-07 中圖儀器

SuperView W1光學3D表面輪廓儀可廣泛應用於半導體製造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及製造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、國防軍工、科研院所等領域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300餘種2D、3D參數作為評價標準。

SuperView W1光學3D表面輪廓儀輪廓分析步驟介紹:

1.將樣品放置在載物臺鏡頭下方;

2.檢查電機連接和環境噪聲,確認儀器狀態;

3.使用操縱杆調節Z軸,找到樣品表面幹涉條紋;

4.微調XY軸,找到待測區域,並重新找到幹涉條紋;

5.完成掃描設置和命名等操作;

6.點擊開始測量(進入3D視圖窗口旋轉調整觀察一會);

7.臺階樣品分析第一步:校平;

8.進入數據處理界面,點擊「校平」圖標,和平面樣品不同,臺階樣品需手動選取基準區域,選好基準區域後,先「全部排除」再「包括」;

9.若樣品表面有好幾處區域均為平面且高度一致,可多選擇幾個區域作為基準面進行校平;

10.臺階高度測量:線臺階高度測量

11.進入分析工具界面,點擊「臺階高度」圖標,即可直接獲取自動檢測狀態下的面臺階高度相關數據;

12.在右側點擊「手動檢測」,根據需求選擇合適的形狀作為平面1和平面2的測量區域,數據欄可直接讀取兩個區域的面臺階高度數值;

13.臺階高度測量:線臺階高度測量

14.進入數據處理界面,點擊「提取剖面」圖標,使用合適方向的剖面線,提取目標位置的剖面輪廓曲線;

15.進入分析工具界面,點擊「臺階高度」圖標,由於所測為中間凹槽到兩側平面高度,因此點擊右側工具欄,測量條對數選擇「2」,將紅色基準線對放置到凹槽平面中間,兩對測量線對分別放置在兩側平面,即可在數據纜讀取臺階高度數據。

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