隨著太陽能電池工業的快速發展,多種光伏技術湧現市場。無論何種光伏技術,提高效能、監控質量及降低成本都將成為太陽能電池的研究重點。Bruker的探針式表面輪廓儀Dektak XT可為太陽能電池領域研究的科學家提供快速、精準等多種檢測方案,Dektak XT探針式表面輪廓儀通過定性、定量或檢測多道加工步驟,有效的幫助太陽能電池製造商提高產量、降低成本,加速太陽能電池的商業化。
Dektak XT測試太陽能電池薄膜厚度
理想的太陽能電池薄膜厚度是製造出優質太陽能電池的基本條件。無論透明薄膜還是不透明薄膜,只要構建出基底與薄膜的邊界,Dektak XT均能在幾秒之內快速準確的完成薄膜厚度的測試。圖1:太陽能電池厚度測試
Dektak XT表徵太陽能電池的表面粗糙度
粗糙度是評價太陽電電池能效的重要指標之一,太陽能電池表面太光滑影響光照的吸收,太粗糙大量的散射同樣會影響光的吸收,因此,太陽能電池表面粗糙度的監測對提高效能較重要。探針式表面輪廓儀亞納米級別的解析度能夠快速、精確的檢測太陽能電池二維及三維表面的粗糙度。圖2 :太陽能電池表面二維粗糙度
圖3 :太陽能電池表面三維粗糙度
Dektak XT檢測太陽能電池表面軌跡及柵線寬度
為確保合適的面板及小面積無光伏材料覆蓋,監控銀線質量及傳導軌跡。DektakXT憑藉強大的軟體分割功能,可自動精確計算出柵線的深度、寬度、體積、底面與基底的粗糙度,對比資料庫,可快速篩選不合格產品。同時幫助快速精確得到柵線正確的位置、寬度、深度,從而減少油墨等昂貴材料的浪費,降低成本。圖4:太陽能電池柵線的多種分析
Dektak XT優化與控制太陽能電池的生產過程
Dektak XT用於控制和改善太陽能電池的製造過程。Dektak XT憑藉其200mm的掃描長度,能夠快速掃描得出8寸晶圓基底各位置的高度,軟體自動快速計算刻蝕與沉積的速率,確保得到理想的薄膜厚度、改善表面均勻性及必要的加工次數,從而提高生產效率、降低成本。圖5:8寸晶圓表面各位置高度
結論:
Dektak XT能夠快速精確的表徵太陽能電池表面信息,有效幫助得到高效能、低成本的太陽能電池產品。其主要優勢有:
1) 對薄膜材質沒有要求,透明、不透明均可,無需制樣;
2) 亞納米級別的縱向解析度1Å;
3) 強大的軟體分析功能;
4) 200mm超長的掃描長度;
5) 業內的臺階重複性,優於4Å。
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