面板是臺灣相當重要的產業之一,面板所需的設備數量、尺寸,均不遜於半導體產線,不過臺灣的面板技術居於全球領先地位,並無國外案例可參考,因此多必須自訂工安規範,以減少事故發生。
臺灣面板廠導入安全規範的時間相當早,早在3.5代面板時,就已有相關作法,由於面板產業所使用的設備多與半導體產業類似,在廠房規劃仍套用半導體製造設備的安全規範SEMIS2,再加以衍生應用;但只要從設備的規格來看,就可發現面板業與半導體產業仍有重要差異,當時3.5代玻璃基板已經超過12英寸的晶圓尺寸,此一尺寸與半導體產業所需的廠房及設備規模完全不同,所可能造成的安全危害與風險程度也有所不同。
面板設備設計階段,就必須要求生產線上的所有設備,都應植入緊急關斷及緊急停止安全元件。
因應面板製程本質設計專屬工安規範
雖然該規範仍大部分適用於面板製造設備的需求,但將半導體設備規範直接套用在較大尺寸的面板設備上,的確顯得有些格格不入,像是半導體產業的Chamberlid提舉設備應用於面板產業,就有可能產生承載強度不足等問題,面板產業因此修正改採固定式起重設備作為提舉器具,作業過程中仍可能發生人員操作吊荷的風險。
此外,半導體產業引用的SEMIS2規範中,著重於單一設備安全規範,但面板產業機臺為數個大型輔助設備組合而成,介面整合更形重要,因此對整合的安全問題必須更多著墨,但在SEMIS2卻付之闕如。
業界人士就指出,面板雖與半導體產業相近,但絕對是不一樣的產業,LCD廠與半導體雖都追求設備規模與效率的極大化,但雙方本質不同,勢必會產生更多不同的安全要求,若設備商僅依循SMEIS2標準,面板廠與配合廠房的風險將不易管控,設備商在設備設計時,會對面板廠的安全需求無法理解,因此在生產線的規劃之初,同時針對面板製造的特質來進行安全防護規範的制訂。
因此,從4代跨到5代的面板廠開始規劃興建時,臺灣面板業者開始投入制訂適合面板業的安全規範,從SEMIS2為基準調整,並在廠房及生產線規劃時同時導入這個規範。
由於臺灣的面板技術位居全球領先地位,並沒有相關的國外案例可參考,加上廠房設計的些許調整,生產線也因加速傳輸速度的需求,必須改變傳統的無塵室設計;新設計導入的當下,讓TFT-LCD製程上與傳統半導體產業間的差距擴大,部份製造上的安全要件易被忽略,因此制訂一套完整的第5代面板廠安全規範,就成了當時的首要考量。
完整工安設計邏輯
由於生產場域中設備的規格太多,安全訊息連結及整合的簡化與一致更是相當重要;再加上不同世代廠房的改變,如何整合成一個沒有灰色地帶,可完全掌握的生產場域,專業團隊的需求成為此時發展安全規範時不可或缺的項目。
適用於面板業或半導體產業的安全規範,在邏輯上並無明顯差異,主要的問題,多發生在操作的細微面,這些問題多是面板生產線上的「特殊危害」,尤其是大面板的生產線上,包括承載、用電及動力的安全需求,就與傳統半導體產業有些不同,像是機器手臂的操作要求等,就是SEMIS2中比較少著墨的。
此外像是「作業排除」程序要求,也與半導體產業有些不同,半導體由於設備機構規模較小,如果人員處理也僅有手或者身體的一部分進入參與;但機構大到某一個程度後,人體的重要部分就有可能會整個進入設備的機構中,危險係數就相對較大。
同時由於設備機構的大型化,機臺與機臺之間的連通,需要高架式自動化搬運系統輔助,自動化搬運系統以及機臺與建築物之間的安全規範,以及作業程序的設備整合連結規劃。
業界人士指出,包括安全規範、安全元件及設備安全等技術,必須開始整合成一套完整的邏輯與基準,最基礎的,就是「安全連鎖裝置與元件」,由於面板製造設備的子系統繁多,也可能分由不同設備商所製造組裝,因此安全連鎖裝置連動設計與安全元件規格標準化與單純化,對於設備操作者與維修工程師的安全性相當重要,並從「人因」觀點出發。