極紫外(EUV)光刻技術將如何影響掩模收入?

2020-11-24 電子發燒友

極紫外(EUV)光刻技術將如何影響掩模收入?

文財網 發表於 2020-11-23 14:42:09

  藤村:在過去的幾年中,口罩的收入一直在增長。在此之前,口罩收入相當穩定,每年約為30億美元。最近,它們已經超過了40億美元的水平,並且預計還會繼續增長。發光二極體公司認為,這一增長的一部分是由於該行業向EUV的轉變。調查中的一個問題問到參與者:「 COVID將對光掩模市場產生什麼業務影響?」 有人認為這可能是消極的,但大多數人認為這不會產生太大影響,或者可能會產生積極的影響。在最近的eBeam計劃中小組成員評論說,前景樂觀的原因可能是由於半導體行業的需求情況。庇護所和在家工作的環境正在為電子和半導體行業創造更多的需求和機會。

  SE:極紫外(EUV)光刻技術將如何影響掩模收入?

  藤村:總體上,三分之二的調查參與者認為這將產生積極的影響。前往EUV時,口罩的數量減少了。這是因為EUV將整個行業帶回單一模式。具有多個圖案的193nm浸入需要在高級節點處使用更多的掩模。使用EUV,您的掩模較少,但是每個EUV層的掩模成本更高。

  SE:幾十年來,IC行業一直遵循摩爾定律,即晶片中的電晶體密度每18到24個月翻一番。按照這種節奏,晶片製造商可以在晶片上封裝更多和較小的電晶體,但是摩爾定律似乎正在放緩。接下來是什麼?

  藤村:摩爾定律的定義正在改變。不再關注CPU時鐘速度的趨勢。那變化不大。它通過位寬擴展而不是時鐘速度擴展。其中很多與熱性能和其他方面有關。我們有一些理論可以逐步改善。另一方面,如果您查看諸如使用GPU或具有更多CPU內核的大規模並行計算之類的東西,以及如果包括這些東西,則可以多快地訪問內存(或可以訪問多少內存),那麼摩爾定律就非常活躍。

  例如,D2S為半導體製造業提供計算系統,因此我們也是技術的消費者。我們進行大量的超級計算,因此了解計算能力方面的情況對我們很重要。我們看到的是,我們的計算能力正在以與以前大致相同的速度持續提高。但是,作為程式設計師,我們必須適應如何利用它。並不是您可以使用相同的代碼,它就不會像20年前那樣自動縮放。您必須了解在任何給定時間點,縮放比例如何不同。您必須弄清楚如何利用新一代技術的優勢,然後轉移代碼。因此,這肯定更難。您必須弄清楚如何利用新一代技術的優勢,然後轉移代碼。因此,這肯定更難。您必須弄清楚如何利用新一代技術的優勢,然後轉移代碼。因此,這肯定更難。

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    消息發出後,迅速引發外界關注,一些媒體稱此技術可以「突破荷蘭光刻機生產企業阿斯麥(ASML)的壟斷」、「中國芯取得重大進展」,「中國不需要極紫外光刻技術(EUV)光刻機就能製作出5納米製程的晶片」。但對於外界解讀,該論文的通訊作者、中科院研究員、博士生導師劉前表示,這是一個誤讀,這一技術與極紫外光刻技術是兩回事。他進一步稱,極紫外光刻技術解決的主要是光源波長的問題,極紫外光刻技術是以波長為10納米至14納米的極紫外光作為光源的光刻技術。
  • 光刻技術的歷史與現狀
    相對於157納米光刻技術,193納米浸沒式光刻技術不需要研發新的掩模、透鏡和光刻膠材料,193納米漫沒式光刻機甚至可以保留現有193納米乾式光刻機的大部分組件,僅需改進設計部分分系統即可。世界上三大光刻機生產商阿斯麥(ASML)、尼康(Nikon)和佳能(Canon)公司的第一代193納米浸沒式樣機都是在原有193納米乾式光刻機的基礎上改進研製而成的,大大降低了研發成本和風險。
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    光刻技術是利用光化學反應原理和化學、物理刻蝕方法將掩模板上的圖案傳遞到晶圓的工藝技術。光刻的原理起源於印刷技術中的照相製版,是在一個平面上加工形成微圖形。光刻技術按曝光光源主要分為光學光刻和粒子束光刻(常見的粒子束光刻主要有X射線、電子束和離子束光刻等)。
  • 深度解析光刻技術的歷史與現狀
    光刻技術的發展史 光刻技術是利用光化學反應原理和化學、物理刻蝕方法將掩模板上的圖案傳遞到晶圓的工藝技術。光刻的原理起源於印刷技術中的照相製版,是在一個平面上加工形成微圖形。光刻技術按曝光光源主要分為光學光刻和粒子束光刻(常見的粒子束光刻主要有X射線、電子束和離子束光刻等)。其中光學光刻是目前最主要的光刻技術,在今後幾年內其主流地位仍然不可動搖。
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