飽和蒸汽是指飽和狀態下的蒸汽，是由氣體分子之間的熱運動現象造成的。
當液體在有限的密閉空間中蒸發時，液體分子通過液面進入上面空間，成為蒸汽分子。由於蒸汽分子處於紊亂的熱運動之中，它們相互碰撞，並和容器壁以及液面發生碰撞，在和液面碰撞時，有的分子則被液體分子所吸引，而重新返回液體中成為液體分子。開始蒸發時，進入空間的分子數目多於返回液體中分子的數目，隨著蒸發的繼續進行，空間蒸汽分子的密度不斷增大，因而返回液體中的分子數目也增多。當單位時間內進入空間的分子數目與返回液體中的分子數目相等時，則蒸發與凝結處於動平衡狀態，這時雖然蒸發和凝結仍在進行，但空間中蒸汽分子的密度不再增大，此時的狀態稱為飽和狀態。在飽和狀態下的液體稱為飽和液體，其對應的蒸汽是飽和蒸汽. 如果與外部沒有熱交換，壓力也恆定，該飽和狀態將一直維持。
當由外部熱源提供熱量時，則飽和蒸汽的溼度慢慢下降。最初只是溼飽和蒸汽，待蒸汽中的水分完全蒸發後才是幹飽和蒸汽。蒸汽從不飽和到溼飽和再到幹飽和的過程溫度是不增加的。理想的滅菌蒸汽是接近幹飽和蒸汽的蒸汽。即基本沒有液體的蒸汽，飽和度為97%以上。幹飽和之後繼續加熱則溫度會上升，成為過熱蒸氣。