與同種物質的液態（或固態）處於平衡狀態的蒸氣叫飽和蒸氣；與水處於平衡狀態的蒸汽叫飽和蒸汽。飽和蒸氣的外延大於飽和蒸汽，飽和蒸汽是飽和蒸氣的一種。
從全國科學技術名詞審定委員會網站，能檢索到「飽和蒸氣」、「飽和蒸汽」。《辭海》只收「飽和蒸氣」，不收「飽和蒸汽」。《中國大百科全書》第2版全文檢索，「飽和蒸氣」出現20次，「飽和蒸汽」出現10次。
全國科學技術名詞審定委員會：
《辭海》第6版：
【飽和蒸氣】與同種物質的液態（或固態）處於平衡狀態的蒸氣。例如，封閉容器中的液體（或固體）汽化（升華）時，分子不斷從液（或固）體內逸出，形成蒸氣，但同時也有分子從蒸氣中進入液（或固）體內。當在同一時間內逸出和進入的分子數目相同時，稱這種液體（或固體）同其蒸氣處於平衡狀態，這時的 蒸氣即為「飽和蒸氣」，其溫度、壓強分別稱為「飽和溫度」、「飽和蒸氣壓」。
《中國大百科全書》第2版：
【天然氣】…… 將氣體液化時所需施加的壓力，稱為該氣體的飽和蒸氣壓力。……
【鍋爐】…… 蒸汽參數 包括鍋爐出口的蒸汽壓力和溫度，通常是指過熱器、再熱器出口處的過熱蒸汽的壓力和溫度。若鍋爐沒有過熱器和再熱器，即指鍋爐出口的飽和蒸汽的壓力和溫度。……
臺灣《國語辭典》：
【飽和蒸汽】bǎo hé zhēng qì 氣相所佔的空間為同物質的液相或固相所飽和時，此時液相或固相變為氣相的速度與氣相凝為液相或固相的速度相等，該氣體便稱為「飽和蒸汽」。
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