一片晶片從設計到量產,中間需要經歷光刻、蝕刻、擴散、薄膜、量測等過程。在光刻階段,需要的核心設備光刻機。而在蝕刻階段,就需要蝕刻機!蝕刻機的地位等同於光刻機,晶片生產缺一不可!
世界上能夠生產EUV光刻機的企業,只有荷蘭的阿斯麥ASML,而能做蝕刻機的公司正是中國的一家公司---中微半導體,是目前中國唯一的蝕刻機巨頭。
據公開資料顯示,中微半導體成立於2004年,由博士尹志堯一手創建,已在矽谷的半導體行業從事了二十多年,積累豐富的經驗,掌握了大量的高新技術。得知中國半導體行業受美國的技術封鎖,發展異常艱難,特別是晶片蝕刻技術方面,原本在矽谷奮鬥尹志堯,義無反顧地帶領團隊回國創業,立志打破美國在蝕刻機領域的封鎖。
中微半導體有了政府的大力支持,依靠尹志堯團隊的實力,我國蝕刻機製造業有了質的飛躍。中微半導體在蝕刻機製造領域取得了碩果纍纍,更是耗時11年的時間成功打破了海外對中國的技術封鎖,從65nm一步步突破到了5nm,甚至領先了世界巨頭IBM兩個星期。
不久,臺積電主動找到中微半導體尋求合作,為臺積電供應高精度蝕刻機。現如今中微半導體的5nm蝕刻技術日趨成熟,儼然成為世界技術巨頭,更有消息稱中微半導體已經開始研發3nm的製造工藝,實乃國家之幸也!