5月17日晚間,中國長城在其官方微信公布,中國電子旗下中國長城鄭州軌道交通信息技術研究院,與河南通用智能裝備有限公司科研人員,在歷時一年的共同努力下,聯合攻關,研製成功我國首臺半導體雷射隱形晶圓切割機,填補國內空白。6fNEETC-電子工程專輯
6fNEETC-電子工程專輯
高端智能裝備是國之重器,是製造業的基石,尤其是半導體領域內高端智能裝備,在國民經濟發展中更是具有舉足輕重的作用。據中國長城官網介紹,該設備在關鍵性能參數上處於國際領先水平,標誌著我國半導體雷射隱形晶圓切割技術取得實質性重大突破,對進一步提高我國智能裝備製造能力具有裡程碑式的意義。6fNEETC-電子工程專輯
今年下半年,該裝備將在鄭州市進行技術成果的轉化及量產。6fNEETC-電子工程專輯
晶圓切割是半導體封測工藝中不可或缺的關鍵工序,日本DISCO公司是全球第一大供應商。在晶片發展到55nm以下後,因為應力等因素,封裝時採用傳統晶圓切割技術會對晶體造成損傷,致使晶圓破碎。6fNEETC-電子工程專輯
中國長城副總裁、鄭州軌交院院長劉振宇介紹,與傳統的切割方式相比,雷射切割屬於非接觸式加工,在內部晶格上進行切割,可以避免對晶體矽表面造成損傷,晶圓表面不會留下切割痕跡。並且具有加工精度高、加工效率高等特點,可以大幅提升晶片生產製造的質量、效率、效益。6fNEETC-電子工程專輯
6fNEETC-電子工程專輯
中國長城官方微信圖片6fNEETC-電子工程專輯
中國長城在新聞中稱,其半導體雷射隱形晶圓切割機通過採用特殊材料、特殊結構設計、特殊運動平臺,可以實現加工平臺在高速運動時保持高穩定性、高精度,運動速度可達 500mm/s,效率遠高於國外設備。6fNEETC-電子工程專輯
在光學方面,根據單晶矽的光譜特性,結合工業雷射的應用水平,採用了合適的波長、總功率、脈寬和重頻的雷射器,最終實現了隱形切割。6fNEETC-電子工程專輯
在影像方面,採用不同像素尺寸、不同感光晶片的相機,配以不同功效的鏡頭,實現了產品輪廓識別及低倍、中倍和高倍的水平調整。同時還搭載了同軸影像系統,可以確保切割中效果的實時確認和優化,實現最佳切割效果。6fNEETC-電子工程專輯
6fNEETC-電子工程專輯
中國長城官方微信圖片6fNEETC-電子工程專輯
該裝備的成功研製也創立了央企、民企共扛使命、資源互補、平臺共享、集智創新的新模式,也是央企、民企聯合發揮各自優勢,通過產學研用相結合,解決國家重大智能裝備製造瓶頸問題成功典範。6fNEETC-電子工程專輯
中國長城董事長宋黎定說:「自主安全、核心技術始終是中國長城科研創新的聚焦主題,也是不變的工作主題。在國家發展的關鍵時期,中國長城的科研人員更要時刻牢記『將核心技術掌握在自己手裡』,牢記『實踐反覆告訴我們,關鍵核心技術是要不來、買不來、討不來的。只有把關鍵核心技術掌握在自己手中,才能從根本上保障國家經濟安全、國防安全和其他安全』,義無反顧、義不容辭地扛起央企主責,甘做冷板凳,誓當主力軍,勇攀核心技術突破高峰,加速解決『卡脖子』的問題,爭做新時代的圓夢人。」6fNEETC-電子工程專輯
根據天眼查,中國長城科技集團股份有限公司,由中國長城計算機集團公司獨家發起重組設立,成立於1997年6月19日,總部位於深圳市南山區科技園長城計算機大廈。6fNEETC-電子工程專輯
6fNEETC-電子工程專輯
長城科技官網截圖6fNEETC-電子工程專輯
2017年3月,公司名稱由「中國長城計算機深圳股份有限公司」變更為「中國長城科技集團股份有限公司」,英文名稱由「China Greatwall Computer Shenzhen Co.,Ltd.」變更為「China Greatwall Technology Group CO.,LTD.」。6fNEETC-電子工程專輯
6fNEETC-電子工程專輯
天眼查截圖6fNEETC-電子工程專輯
鄭州軌交院成立於2017年,幾年來,該院圍繞自主安全工業控制器、高端裝備製造和新一代信息技術突破開展科研創新、技術攻關。尤其是被中國長城旗下公司收購後,鄭州軌交院科研創新、事業發展進入新一輪加速發展期。6fNEETC-電子工程專輯
回溯公告,中國長城於2019年12月2日公告,公司全資子公司聖非凡擬從電子六所收購鄭州軌道交通信息技術研究院100%股權,交易對價9800.96萬元。鄭州軌道交通信息技術研究院主要有工控安全產品及信息系統、軌道交通信息安全及等級保護系統、智能裝備、工業軟體及系統等四大核心業務;其中,在智能裝備方面,其將致力於開展半導體晶圓雷射隱形切割設備、半導體封裝測試專用設備以及非標準智能裝備的研發生產。6fNEETC-電子工程專輯
6fNEETC-電子工程專輯
長城科技官網截圖6fNEETC-電子工程專輯
消息發出後,中國長城股價大漲。有半導體設備從業者表示,這背後的邏輯是:半導體設備國產化正當時;國產半導體設備公司帶來更多的機遇,也上緊了加速發展的「發條」。6fNEETC-電子工程專輯
6fNEETC-電子工程專輯
此前《電子工程專輯》也報導,中微公司、北方華創等多家A股上市公司已經成長為半導體設備龍頭。比如,中微公司的等離子體刻蝕設備已應用到5納米的晶片生產線,MOCVD已在全球佔據領先地位。6fNEETC-電子工程專輯
機遇之下,多家半導體設備公司也取得新進展。芯源微披露,其前道塗膠顯影機正在中芯北方進行驗證,公司也與中芯國際在前道清洗機設備上有合作。萬業企業則披露,公司全資子公司凱世通自主研發的低能大束流集成電路離子注入機,目前正在進行離子注入晶圓驗證。凱世通已佔據約9成光伏離子注入機市場,也在進行AMOLED離子注入機研發。6fNEETC-電子工程專輯
責編:Luffy Liu6fNEETC-電子工程專輯
本文綜合自CGT中國長城、人民網河南頻道、新華網、上海證券報報導6fNEETC-電子工程專輯