中國首臺雷射隱形晶圓切割機研製成功

2020-12-05 電子工程專輯

5月17日晚間,中國長城在其官方微信公布,中國電子旗下中國長城鄭州軌道交通信息技術研究院,與河南通用智能裝備有限公司科研人員,在歷時一年的共同努力下,聯合攻關,研製成功我國首臺半導體雷射隱形晶圓切割機,填補國內空白。6fNEETC-電子工程專輯

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高端智能裝備是國之重器,是製造業的基石,尤其是半導體領域內高端智能裝備,在國民經濟發展中更是具有舉足輕重的作用。據中國長城官網介紹,該設備在關鍵性能參數上處於國際領先水平,標誌著我國半導體雷射隱形晶圓切割技術取得實質性重大突破,對進一步提高我國智能裝備製造能力具有裡程碑式的意義。6fNEETC-電子工程專輯

今年下半年,該裝備將在鄭州市進行技術成果的轉化及量產。6fNEETC-電子工程專輯

雷射隱形切割是先進半導體後端必備工藝

晶圓切割是半導體封測工藝中不可或缺的關鍵工序,日本DISCO公司是全球第一大供應商。在晶片發展到55nm以下後,因為應力等因素,封裝時採用傳統晶圓切割技術會對晶體造成損傷,致使晶圓破碎。6fNEETC-電子工程專輯

中國長城副總裁、鄭州軌交院院長劉振宇介紹,與傳統的切割方式相比,雷射切割屬於非接觸式加工,在內部晶格上進行切割,可以避免對晶體矽表面造成損傷,晶圓表面不會留下切割痕跡。並且具有加工精度高、加工效率高等特點,可以大幅提升晶片生產製造的質量、效率、效益。6fNEETC-電子工程專輯

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中國長城官方微信圖片6fNEETC-電子工程專輯

中國長城在新聞中稱,其半導體雷射隱形晶圓切割機通過採用特殊材料、特殊結構設計、特殊運動平臺,可以實現加工平臺在高速運動時保持高穩定性、高精度,運動速度可達 500mm/s,效率遠高於國外設備。6fNEETC-電子工程專輯

在光學方面,根據單晶矽的光譜特性,結合工業雷射的應用水平,採用了合適的波長、總功率、脈寬和重頻的雷射器,最終實現了隱形切割。6fNEETC-電子工程專輯

在影像方面,採用不同像素尺寸、不同感光晶片的相機,配以不同功效的鏡頭,實現了產品輪廓識別及低倍、中倍和高倍的水平調整。同時還搭載了同軸影像系統,可以確保切割中效果的實時確認和優化,實現最佳切割效果。6fNEETC-電子工程專輯

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中國長城官方微信圖片6fNEETC-電子工程專輯

該裝備的成功研製也創立了央企、民企共扛使命、資源互補、平臺共享、集智創新的新模式,也是央企、民企聯合發揮各自優勢,通過產學研用相結合,解決國家重大智能裝備製造瓶頸問題成功典範。6fNEETC-電子工程專輯

中國長城董事長宋黎定說:「自主安全、核心技術始終是中國長城科研創新的聚焦主題,也是不變的工作主題。在國家發展的關鍵時期,中國長城的科研人員更要時刻牢記『將核心技術掌握在自己手裡』,牢記『實踐反覆告訴我們,關鍵核心技術是要不來、買不來、討不來的。只有把關鍵核心技術掌握在自己手中,才能從根本上保障國家經濟安全、國防安全和其他安全』,義無反顧、義不容辭地扛起央企主責,甘做冷板凳,誓當主力軍,勇攀核心技術突破高峰,加速解決『卡脖子』的問題,爭做新時代的圓夢人。」6fNEETC-電子工程專輯

關於中國長城和鄭州軌交院

根據天眼查,中國長城科技集團股份有限公司,由中國長城計算機集團公司獨家發起重組設立,成立於1997年6月19日,總部位於深圳市南山區科技園長城計算機大廈。6fNEETC-電子工程專輯

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長城科技官網截圖6fNEETC-電子工程專輯

2017年3月,公司名稱由「中國長城計算機深圳股份有限公司」變更為「中國長城科技集團股份有限公司」,英文名稱由「China Greatwall Computer Shenzhen Co.,Ltd.」變更為「China Greatwall Technology Group CO.,LTD.」。6fNEETC-電子工程專輯

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天眼查截圖6fNEETC-電子工程專輯

鄭州軌交院成立於2017年,幾年來,該院圍繞自主安全工業控制器、高端裝備製造和新一代信息技術突破開展科研創新、技術攻關。尤其是被中國長城旗下公司收購後,鄭州軌交院科研創新、事業發展進入新一輪加速發展期。6fNEETC-電子工程專輯

回溯公告,中國長城於2019年12月2日公告,公司全資子公司聖非凡擬從電子六所收購鄭州軌道交通信息技術研究院100%股權,交易對價9800.96萬元。鄭州軌道交通信息技術研究院主要有工控安全產品及信息系統、軌道交通信息安全及等級保護系統、智能裝備、工業軟體及系統等四大核心業務;其中,在智能裝備方面,其將致力於開展半導體晶圓雷射隱形切割設備、半導體封裝測試專用設備以及非標準智能裝備的研發生產。6fNEETC-電子工程專輯

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長城科技官網截圖6fNEETC-電子工程專輯

半導體設備國產化正當時!

消息發出後,中國長城股價大漲。有半導體設備從業者表示,這背後的邏輯是:半導體設備國產化正當時;國產半導體設備公司帶來更多的機遇,也上緊了加速發展的「發條」。6fNEETC-電子工程專輯

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此前《電子工程專輯》也報導,中微公司、北方華創等多家A股上市公司已經成長為半導體設備龍頭。比如,中微公司的等離子體刻蝕設備已應用到5納米的晶片生產線,MOCVD已在全球佔據領先地位。6fNEETC-電子工程專輯

機遇之下,多家半導體設備公司也取得新進展。芯源微披露,其前道塗膠顯影機正在中芯北方進行驗證,公司也與中芯國際在前道清洗機設備上有合作。萬業企業則披露,公司全資子公司凱世通自主研發的低能大束流集成電路離子注入機,目前正在進行離子注入晶圓驗證。凱世通已佔據約9成光伏離子注入機市場,也在進行AMOLED離子注入機研發。6fNEETC-電子工程專輯

責編:Luffy Liu6fNEETC-電子工程專輯

本文綜合自CGT中國長城、人民網河南頻道、新華網、上海證券報報導6fNEETC-電子工程專輯

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  • 中國首臺半導體雷射隱形晶圓切割機研製成功,將填補空白
    但是中國長城科技公司給大家帶來好消息,就是我國有了首臺半導體雷射隱形晶圓切割機,這個技術得到以後,我們就從此又少了一塊空白區,真的是令人興奮。中國長城科技是一家高科技的公司,主要營業的就是一些電子設備的零部件和元器件等等,這家公司早在1998年的時候就成立了,每一年的盈利也是上億,多年來公司一直秉承著為世界服務的切割點,做了很多的貢獻,不管是顯示器還是電源,長城科技已經是國內做大的智能電錶商之一了。
  • 我國首臺半導體雷射隱形晶圓切割機問世
    據國務院國資委網站5月20日消息,近日,中國電子旗下中國長城鄭州軌道交通信息技術研究院和河南通用智能裝備有限公司歷時1年,聯合攻關,研製成功我國首臺半導體雷射隱形晶圓切割機,填補國內空白。該設備在關鍵性能參數上處於國際領先水平,標誌著我國半導體雷射隱形晶圓切割技術取得實質性重大突破,對進一步提高我國智能裝備製造能力具有裡程碑式的意義。高端智能裝備是國之重器,是製造業的基石,尤其是半導體領域內高端智能裝備,在國民經濟發展中具有舉足輕重的作用。晶圓切割是半導體封測工藝中不可或缺的關鍵工序。
  • 中國電子研製出我國首臺半導體雷射隱形晶圓切割機
    本文轉自【「CEC中國電子」微信公眾號】;近日,中國電子旗下中國長城鄭州軌道交通信息技術研究院和河南通用智能裝備有限公司,歷時一年,聯合攻關,研製成功我國首臺半導體雷射隱形晶圓切割機,填補國內空白。該設備在關鍵性能參數上處於國際領先水平,標誌著我國半導體雷射隱形晶圓切割技術取得實質性重大突破,對進一步提高我國智能裝備製造能力具有裡程碑式的意義。高端智能裝備是國之重器,是製造業的基石,尤其是半導體領域內高端智能裝備,在國民經濟發展中具有舉足輕重的作用。
  • ...通用智能裝備有限公司研製出我國首臺半導體雷射隱形晶圓切割機
    同花順金融研究中心11月17日訊,有投資者向中國長城提問, 之前新聞報導,鄭州軌道交通信息技術研究院和河南通用智能裝備有限公司合作研究出雷射隱形晶圓切割機。請問相關技術專利屬於誰?是要成立合資公司來生產該設備嗎?如果成立合資公司,公司持股比例?
  • 再補一空白:首臺半導體雷射隱形晶圓切割機面世
    5月19日人民網消息,中國長城旗下鄭州軌道交通信息技術研究院和河南通用智能裝備有限公司近日聯合宣布成功研製我國首臺半導體雷射隱形晶圓切割機,該產品在關鍵性能參數上處於國際領先水平,彌補了我國在此領域的空白。晶圓切割機廣泛應用於光伏及半導體領域,日本DISCO公司是全球第一大供應商。
  • 中國第一臺半導體雷射隱形晶圓切割機研發成功
    中國長城科技集團官方宣布,旗下鄭州軌道交通信息技術研究院、河南通用智能裝備有限公司,歷時一年聯合攻關,我國第一臺半導體雷射隱形晶圓切割機已於5月8日研製成功,填補國內空白,並實現了最佳光波和切割工藝,在關鍵性能參數上處於國際領先水平。
  • 我國首臺半導體雷射隱形晶圓切割機
    20日,根據國務院國有資產監督管理委員會(國資委)網站消息,我國成功研發首臺半導體雷射隱形晶圓切割機,標誌著我國晶片製造業的又一次巨大進步。中國電子此次晶圓切割機的研發主要由中國電子旗下中國長城鄭州軌道交通信息技術研究院與河南通用智能裝備有限公司完成,
  • 專家對國內首臺矽晶圓雷射隱形切割機進行鑑定
    一致認為,中國電子鄭州軌道交通信息技術研究院和河南通用智能裝備有限公司聯合研製的矽晶圓雷射隱形切割機屬國內首創,填補了國內空白,其性能指標和總體水平達到國內領先、國際先進,具有廣闊的市場應用前景。,對國內首臺矽晶圓雷射隱形切割機進行內部鑑定。
  • 晶片製造重大突破 我國首臺雷射晶圓切割機問世
    晶片製造的工藝複雜、流程眾多,而晶圓切割就是半導體封測工藝中不可或缺的一道工序,晶圓切割就是將單一晶圓進行切割製作成一個個晶粒單元,但由於晶粒本身比較脆弱、相互之間距離小,並且切割時還需要注意晶粒不被汙染、避免出現崩塌或者裂痕現象,因此晶圓切割對於技術和切割設備的要求都極高。
  • 中國電子研製出我國首臺半導體雷射隱形晶圓切割...
    每經編輯:畢陸名據中國電子信息產業集團有限公司官方微信CEC中國電子消息,近日,中國電子旗下中國長城鄭州軌道交通信息技術研究院和河南通用智能裝備有限公司,歷時一年,聯合攻關,研製成功我國首臺半導體雷射隱形晶圓切割機,填補國內空白。
  • 半導體設備國產化正在加劇,首臺晶圓切割機研製成功
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  • 中國晶片產業鏈又添一利器:半導體雷射隱形晶圓切割機問世
    正值美國政府對我們高科技產業實施全方位打壓之際,據人民網消息,近日,在中國長城旗下鄭州軌道交通信息技術研究院和河南通用智能裝備有限公司科研人員共同努力下,我國首臺半導體雷射隱形晶圓切割機於近日研製成功,此舉填補了國內空白,在關鍵性能參數上處於國際領先水平。
  • 中國長城半導體雷射隱形晶圓切割機年產將達500臺產值20億元
    已獲意向訂單60臺,預計年底分批交付記者從河南鄭州了解到,由中國長城鄭州軌交院研發的國內首臺半導體雷射隱形晶圓切割機自面世以來,獲得市場強烈關注,目前已接到行業客戶意向訂單60臺,預計今年能創造營業收入2億元以上。
  • 我國半導體雷射隱形晶圓切割技術取得重大突破
    5月17日晚,中國長城科技集團股份有限公司發文稱:公司旗下鄭州軌道交通信息技術研究院(下稱「鄭州軌交院」)和河南通用智能裝備有限公司於近日研製成功我國首臺半導體雷射隱形晶圓切割機,填補國內空白,在關鍵性能參數上處於國際領先水平。
  • 中國長城一度漲停,雷射隱形晶圓切割技術獲突破
    5月18日,中國長城官微表示,我國首臺半導體雷射隱形晶圓切割機於近日研製成功,填補國內空白,在關鍵性能參數上處於國際領先。我國半導體雷射隱形晶圓切割技術取得實質性重大突破,相關裝備依賴進口的局面將打破。
  • 國內首臺半導體雷射隱形晶圓切割機...
    國內首臺半導體雷射隱形晶圓切割機研製成功6月3日,中國長城科技集團股份有限公司在投資者互動平臺上表示,公司近日研製成功國內首臺半導體雷射隱形晶圓切割機消息屬實。但切割機業務暫無批量投入市場。今年5月,中國長城官方消息顯示,旗下鄭州軌交院與河南通用成功研製出我國首臺半導體雷射隱形晶圓切割機,填補國內空白,在關鍵性能參數上處於國際領先水平。
  • 半導體雷射隱形晶圓切割技術愈發成熟,不再被國外壟斷
    長城科技和河南通用智能成功研製了我國首臺半導體雷射隱形晶圓切割機,實現了最佳光波和切割工藝,開啟了我國雷射晶圓切割行業發展,填補了國內的技術空白,甚至在關鍵性能參數上都處於國際領先水平,一直依賴進口的局面也將被打破。晶圓切割是半導體封測工藝中不可或缺的關鍵工序。
  • 中國晶圓切割機打破空白
    5月17日深夜,網信產業龍頭中國長城科技集團股份有限公司(下稱「中國長城」,000066)在其公眾號宣布,旗下鄭州軌道交通信息技術研究院(下稱「鄭州軌交院」)和河南通用智能裝備有限公司於近日研製成功我國首臺半導體雷射隱形晶圓切割機,填補國內空白,在關鍵性能參數上處於國際領先水平。
  • 中國晶圓設備打破空白:遠超國外產品
    中國長城科技集團官方宣布,旗下鄭州軌道交通信息技術研究院、河南通用智能裝備有限公司,歷時一年聯合攻關,我國第一臺半導體雷射隱形晶圓切割機已於5月8日研製成功,填補國內空白,並實現了最佳光波和切割工藝,在關鍵性能參數上處於國際領先水平。
  • 多地再迎集中簽約、開工潮,富樂德年產180萬枚晶圓再生、惠科6英寸...
    集微網消息(文/圖圖)陝西省、蘇州、武漢、南京、鹽城等地舉行了項目集中簽約或開工儀式,中國長城研製出我國首臺半導體雷射隱形晶圓切割機,廈門天馬480億元項目全面開工,力特半導體無錫二期項目啟動,維信諾合肥項目或年底試投產,青島惠科6英寸晶片項目主體廠房封頂,中科飛測橢偏膜厚量測儀正式搬入廈門士蘭集科,康佳20億元存儲晶片封測項目預計6月底主體竣工……….