國之重器突破!中國晶圓切割機打破空白

5月17日深夜，網信產業龍頭中國長城科技集團股份有限公司（下稱「中國長城」,000066）在其公眾號宣布，旗下鄭州軌道交通信息技術研究院（下稱「鄭州軌交院」）和河南通用智能裝備有限公司於近日研製成功我國首臺半導體雷射隱形晶圓切割機，填補國內空白，在關鍵性能參數上處於國際領先水平。

中國長城表示，該裝備是鄭州軌交院與河南通用歷時一年聯合攻關研發成功，最終實現了最佳光波和切割工藝，開啟了我國雷射晶圓切割行業發展的序幕。而半導體雷射隱形晶圓切割技術取得實質性重大突破，相關裝備依賴進口的局面即將打破。

晶圓切割是半導體封測工藝中不可或缺的關鍵工序。中國長城副總裁、鄭州軌交院院長劉振宇介紹，與傳統的切割方式相比，雷射切割屬於非接觸式加工，可以避免對晶體矽表面造成損傷，並且具有加工精度高、加工效率高等特點，可以大幅提升晶片生產製造的質量、效率、效益。

該裝備通過採用特殊材料、特殊結構設計、特殊運動平臺，可以實現加工平臺在高速運動時保持高穩定性、高精度，運動速度可達500mm/S，效率遠高於國外設備。在光學方面，根據單晶矽的光譜特性，結合工業雷射的應用水平，採用了合適的波長、總功率、脈寬和重頻的雷射器，最終實現了隱形切割。

在影像方面，採用不同像素尺寸、不同感光晶片的相機，配以不同功效的鏡頭，實現了產品輪廓識別及低倍、中倍和高倍的水平調整。該裝備還搭載了同軸影像系統，可以確保切割中效果的實時確認和優化，實現最佳切割效果。

作為網絡安全和信息化領域的國家隊和排頭兵，中國長城由中國電子信息產業集團有限公司所屬中國長城計算機深圳股份有限公司、長城信息產業股份有限公司、武漢中原電子集團有限公司、北京聖非凡電子系統技術開發有限公司四家骨幹企業於2017年1月整合組成，同年3月完成註冊，註冊資本29.28億元，總資產216.71億元，淨資產82.96億元，在職員工1.4萬人。