臺積電7nm工藝_7nm工藝意味著什麼

2021-01-17 電子發燒友

  現在看到手機發布會,很多廠商在介紹處理器的時候總會蹦出「FinFet工藝製造」之類的名詞,那到底什麼是FinFET工藝,到底有什麼優勢讓國際大廠趨之若鷲?

  FinFET工藝的概念

  FinFET稱為鰭式場效應電晶體(FinField-EffectTransistor),是由美籍華人科學家胡正明教授提出的,其中的Fin在構造上與魚鰭非常相似,所以稱為「鰭式」,而FET的全名是「場效電晶體」。

  FinFET是一種新的互補式金屬氧半導體(CMOS)電晶體,源自於傳統標準的電晶體—「場效電晶體」的一項創新設計。

  傳統電晶體結構是平面的,所以只能在閘門的一側控制電路的接通與斷開。但是在FinFET架構中,閘門被設計成類似魚鰭的叉狀3D架構,可於電路的兩側控制電路的接通與斷開。這種叉狀3D架構不僅能改善電路控制和減少漏電流,同時讓電晶體的閘長大幅度縮減。

  最早使用FinFET工藝的是英特爾,他們在22納米的第三代酷睿處理器上使用FinFET工藝,隨後各大半導體廠商也開始轉進到FinFET工藝之中,其中包括了臺積電16nm、10nm、三星14nm、10nm以及格羅方德的14nm。

  不過FinFET工藝的極限是7nm製程,第一代的7nm工藝還將會繼續使用FinFET工藝,但是接下來就需要依賴極紫外光刻機了。

  FinFET工藝的製造

  前面提到的FinFET可以理解為立體的電晶體,傳統平面的電晶體所採用的是FD-SOI工藝。雖然這幾年的FinFET工藝佔據了大多數人的視線,但是FD-SOI工藝依然非常重要。

  如果要是FinFET工藝核FD-SOI達到相同性能,FD-SOI工藝在製造過程中相對簡單,但是SOI基片價格稍貴,而FinFET工藝雖然製造過程更為複雜,但是由於基片價格便宜,讓兩者的實際製造成本相差不大。

  前面提到FinFET的製造工藝是非常複雜的,Intel的Mark Bohl在2016年的一個訪談中聊到了FinFET技術,並提到Intel將會繼續使用SADP (Self-Aligned Double Patterning)工藝。

  其中的Double Patterning是目前主流的FinFET製造工藝。它的原理就是先pattern一批80nm精度的圖樣,然後再交錯Pattern一批80nm精度的圖樣;在兩次光刻之後,就可以將精度提升到40nm。

  特爾的做法就是先用普通精度的光刻可出一堆「架子」,然後在架子上沉澱一層很薄的矽,再選擇性的使用把多餘的材料弄走,剩下立著的就是超薄的Fin了。準確點來說,這個Fin不是刻出來的,而是長出來的。

  FinFET工藝的改良

  FinFET工藝實質上就是再原油的基礎上增加了一個柵極,這樣可以讓尺寸很小的電晶體減少漏電。因為大部分的漏電是來自於溝道下方的流通區域,也就是短溝道效應。

  那要如何解決掉短溝道效應呢?

  就有人開始想:既然電子是在溝道中運動,物理模型需要這片區域來平衡電荷,所以就有了溝道下方的耗盡層。但在短溝道器件裡面,把耗盡層和溝道放在一起,等著漏電流白白地流過去。

  積電ARM聯手:打造全球首款7nm晶片

  臺積電去年宣布,計劃聯合ARM、Xilinx、Cadence,共同打造全球首個基於7nm工藝的晶片。

  更確切地說,這四家半導體大廠將採用臺積電7nm?FinFET工藝,製造一款CCIX(緩存一致性互聯加速器)測試晶片,2018年第一季度完成流片。

  該晶片一方面用來試驗臺積電的新工藝,另一方面則可以驗證多核心ARM?CPU通過一致性互連通道與片外FPGA加速器協作的能力。

  這款測試晶片基於ARMv8.2計算核心,擁有DynamIQ、CMN-600互連總線,可支持異構多核心CPU。

  Cadence則提供CCIX、DDR4內存控制器、PCI-E?3.0/4.0總線、外圍總線等IP,並負責驗證和部署流程。

  7nm將是臺積電的一個重要節點(10nm僅針對手機),可滿足從高性能到低功耗的各種應用領域,第一個版本CLN?7FF保證可將功耗降低60%、核心面積縮小70%,2019年則退出更高級的CLN?7FF+版本,融入EUV極紫外光刻,進一步提升電晶體集成度、能效和良品率。

  7nm工藝時代是三星臺積電天下,國內廠商到底有啥阻礙

  隨著三星10納米製程借高通驍龍835處理器的亮相,以及由臺積電10納米製程所生產的聯發科HelioX30處理器,在魅族Pro7系列手機首發,之後還有海思的麒麟970及蘋果A11處理器的加持下,手機處理器的10納米製程時代可說是正式展開。而對於下一代的7納米製程,當前來看,應該仍是三星與臺積電兩大龍頭的天下。由於在7納米製程中,極其依賴的極紫外光(EUV)設備,中國廠商在短期間內仍無法購買到。這對於正積極建構自身半導體生產能量的中國來說,將可能在7納米這個製程節點上被拉遠距離。

  事實上,對於7納米製程,三星和臺積電兩大晶圓代工龍頭都早已入手布局,以便爭奪IC設計業者們的訂單。其中,日前傳出三星原定在2018年破土動工的韓國華城18號生產線,動工時間已經被提前到了2017年的11月,以便在2019年能夠進入7納米製程的量產階段。其中,18號生產線將會架設10多臺極紫外光(EUV)設備,以強化生產效能。

  至於,臺積電在7納米製程的布局,根據臺積電高層之前在法說會上的說法,表示目前已經有12個產品設計定案,這使得第一代7納米製程將會在2017年底或2018年達成量產。至於,第二代的7納米製程則會在2019年達成量產的目標,製程中也將導入EUV的技術。因此,在不論是三星,或者臺積電都將在7納米製程上都將引入EUV技術的情況下,而這種被視為延續摩爾定律的設備,正是被寄望能推動未來製程進步的重要關鍵。

  因此,就7納米製程這個節點的狀況來看,在一定程度上也是被EUV設備所控制,而EUV設備卻是被荷蘭半導體設備廠商艾司摩爾(ASML)所控制的。ASML是一家從事半導體設備設計、製造及銷售的企業,自1984年從飛利浦獨立出來之後,在2016年先後宣布收購漢微科及蔡司半導體24.9%股份。而這家壟斷了高端光刻機市場的廠商,其股東中就包含英特爾(intel)、臺積電和三星。根據ASML公布的2017第2季財報,公司單季的營收淨額為21億歐元,毛利率為45%。

  由於,EUV的研發難度非常大。因此,也造成單價的居高不下,每一臺的價格約在高昂1億歐元上下。而且,這種價值連城的設備還不是有錢就能買到的。例如受限於《瓦聖納協定(TheWassenaarArrangementonExportControlsforConventionalArmsandDual-UseGoodandTechnologies)》,中國的廠商就買不到這種最高階的光刻機設備。此外,由於ASML的EUV年產量也只有12臺,包括三星及臺積電幾乎已經搶光了2017到2018年所有產能的情況下,即便有報導稱ASML正在提升生產效率,希望在2018年將產能增加到24臺,2019年達到40臺,但仍不足以應付市場的需求。使得中國廠商即使有機會購買EUV設備,短期恐怕也都要落空。

  當前,對於大力投入集成電路發展的中國來說,雖然買不到ASML的EUV設備,但是也尋找其他方式希望能有所突破。例如2017年3月,上海微電子裝備(集團)就與ASML籤署了合作備忘錄。6月時,上海集成電路研究開發中心又宣布與ASML合作,將共同建立一個培訓中心。另外,由中國本地的長春光機所帶領的極紫外光刻關鍵技術研究專案,也在2017年6月啟動。而這些計劃,都是中國希望能在EUV設備銷售限制上能有所突破準備。但是,實際上在未來是不是真的能有所進展,達成最後的目標,就還有待日後的持續觀察。

  7nm工藝製造,臺積電將獨家代工蘋果A12處理器

  近日,根據外媒MacRumors報導,蘋果公司已經選擇臺積電作為A12處理器的獨家代工商,預計2018年下半年推出的三款新iPhone將採用該處理器。報導援引蘋果公司供應鏈中匿名消息人士的話,A12晶片將採用臺積電7nm工藝製造,在封裝體積更小的同時性能更加強大。

  消息透露,臺積電7nmFinFET製程工藝相比三星更加具有競爭力。韓國先驅報去年7月報導,三星已經籤訂了一項協議,為蘋果供應部分A12晶片,但兩天後,Digitimes報導,臺積電仍然可能獨享所有的A12晶片訂單。

  目前臺積電已經是iPhone8、iPhone8Plus和iPhoneX所搭載的的A11仿生晶片的獨家代工商。如果報導屬實的話,那麼三星將再次錯失蘋果的巨額訂單。唯一值得安慰的是高通的高端晶片仍然由三星獨家代工,但隨著三星高端晶片的成熟,高通很可能會尋找新的代工商。

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