AMAT發布矽晶圓切割線鋸新品

2020-11-25 電子產品世界

　　美國應用材料(AMAT)發布了可從矽錠上切出120μm厚太陽能電池用晶圓的線鋸設備「Applied HCT MaxEdge」。AMAT表示，使用該裝置可減少每枚晶圓的矽用量等，所以可將多晶矽型太陽能電池單元的製造成本降低約0.18美元/W(假設多晶矽的價格為55美元/kg時)。

本文引用地址：http://www.eepw.com.cn/article/92634.htm

　　Applied HCT MaxEdge可在不降低產量的情況下切割出較薄的晶圓。切割負荷比該公司原裝置「Applied HCT B5」可增大45%。兩裝置均採用以兩根金屬線切割的方法。但新產品具有可控制金屬線張力的功能，切割較薄的晶圓時可使用更細的金屬線。

　　使用原來的金屬線時，要製造較薄的晶圓，必須控制施加矽鑄錠上的負荷和切割速度。因此，難以兼顧高產和晶圓的薄型化。

　　太陽能電池單元廠商通過減薄晶圓，減少了每枚晶圓的矽用量，從而降低製造成本。但因變薄了的晶圓易碎裂，因此在切出晶圓後的製造工序中存在無法確保高成品率的問題。(

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