（1）古希臘哲學家在對自然界演變的思考中產生了「物質既不能被創造也不能被消滅」的樸素思想。（2）1673年，英國化學家波義爾將金屬汞放在密閉容器裡煅燒，然後打開容器後稱量，發現固體物質質量增加了。（3）德國化學家施塔爾1703年提出了「燃素說」，認為一切可燃燒的物質中都含有燃素，燃燒時，它就揮發了。（4）1756年，羅蒙諾索夫在研究中發現，施塔爾忽視了波義耳曾經做過的一個實驗。波義耳在封閉的玻璃器皿中燃燒金屬時，得到了金屬灰。作為在化學實驗中最先使用天平者之一的羅蒙諾索夫仔細分析了波義耳實驗的做法，那就是波義耳在加熱後為什麼立即打開容器。不打開容器稱量發現容器中物質的總重量在煅燒前後並沒有發生改變。（5）1777年，法國化學家拉瓦錫用當較精確的定量實驗法，在密封容器中研究氧化汞的分解與生成中各物質質量之間的關係，參加化學反應各物質的質量總和等於反應後生成的各物質質量總和。（6）1905年，愛因斯坦發表了狹義相對論，這一現象並不意味著物質會被消滅，而是物質的靜質量轉變成另外一種運動形式。所以20世紀以後，質量守恆定律和能量守恆定律，合稱質能守恆定律。