平面光波導器件
平面光波導器件是採用平面光波導技術製造而成的器件，分為無源器件、有源器件以及有源/無源混合集成器件。
無源平面光波導器件，顧名思義，無需能（電）源的器件就是無源器件，僅作為光波信號的傳輸、分波/合波濾波等功能。主要有平面光波導分路器、陣列波導光柵（AWG）、光濾波器等。目前平面光波導分路器在國內外市場非常火爆，根據2016年4月5日市場及技術諮詢公司ElectroniCast報告，2015年全球平面光波導分路器市場總額達到6.96億美元，同比增長達到14%。中國目前已經成為平面光波導分路器市場的主導者，佔市場總額的35%以上。2012年之前，國內的光分路器器件全都是從韓國和日本進口，國內僅能做封裝，大部分利潤都被韓、日、歐美拿走。經過多年的潛心研究與開發，2015年之後，河南仕佳光子一躍成為全球最大的光分路器晶片供應商，月產6英寸晶圓可達3000片。目前國內圍繞平面光波導分路器專門從事封裝製造的企業不下100家。
AWG是WDM（波分復用/解復用）系統的關鍵器件，其設計與製造較平面光波導器件難，目前國內還沒有規模化量產，還處於量產攻關階段。目前採用串聯的AWG濾波結構可獲得信道間隔達到10GHz（波長間隔0.08nm），信道數超過1000。商用的AWG通常為100GHz（波長間隔0.8nm）。
有源平面光波導器件，是指需要能（電）源才能工作的光波導器件，可作為光波信號的生成、調控、放大與探測等。以Ⅲ-Ⅴ半導體化學物材料來製造。主要半導體雷射器（LD）、光探測器（PD）、光波導放大器（OSA）、可調光衰減器等，可單片，也可集成，Infinera是此類器件技術及產業的領導者。圖2為集成型的無源平面光波導器件，其製造工藝複雜，需要用到MOCVD（金屬氣相沉積法）。這類產品歐美日較發達，國內只能生產10G以下產品，高端產品全部依賴進口。
圖2：集成型有源平面光波導器件。
無源/有源混合集成平面光波導器件。無源器件和有源器件的材料各異，其製造工藝不盡相同，近來出現了以SiO2或Si做好光波導迴路，然後將PD、LD以倒裝或貼裝的方式混合在一起，如圖3所示。
圖3：無源/有源混合集成平面光波導器件。
矽光子集成
用於光波導器件的材料種類非常多，二氧化矽和玻璃、Ⅲ-Ⅴ族化合物半導體（GaAs和InP）、鈮酸鋰和鉭酸鋰、有機聚合物、矽和鍺半導體，因此器件的種類也很多。光波導器件能否像集成電路產業一樣，只採用矽這一種材料呢？由於作為雷射器的介質要求是直接帶隙才能激射，而矽是間接帶隙。因此自光纖通信技術發展伊始，其器件的發展始終不能像集成電路的發展一樣，可實現大規模、超大規模的集成，而只能是幾個、幾十個、幾種功能的集成，能做到上百、上千的個數或功能的集成異常困難。
矽基集成電路已經發展到近乎完美的程度，CMOS工藝已經堪稱完美。能否把光子器件與CMOS工藝相結合，使得光子器件材料統一，實現大規模集成？Intel和IBM早在本世紀初就開始重點發展矽晶片光學信號產生和處理技術，先後突破了矽基光子調製與探測技術。2007年7月，Intel研究人員實現了矽雷射調製器帶寬為40Gbps，2008年5月採用8路矽調製器實現了200Gbps。2015年5月，實現了在10~40Gbps的帶寬內具有穩定的增益，且增益帶寬積保證在300GHz以上的矽基光探測器。