為何只有荷蘭ASML才能製造頂尖EUV光刻機設備?

2020-12-06 電子發燒友

為何只有荷蘭ASML才能製造頂尖EUV光刻機設備?

商業經濟觀察 發表於 2020-12-03 13:46:22

自從晶片工藝進入到7nm工藝時代以後，需要用到一臺頂尖的EUV光刻機設備，才可以製造7nm EUV、5nm等先進位程工藝的晶片產品，但就在近日，又有外媒豪言：這種頂尖的EUV極紫外光刻機，目前全球只有荷蘭光刻機巨頭ASML能造，對此也有很多網友們感覺到非常疑惑，為何只有荷蘭ASML可以造頂尖EUV光刻機設備呢？像我國的上海微電子、日本的索尼、佳能都造不出來嗎？

從目前頂尖的EUV極紫外光刻機設備，採用是極紫外線，波長為13.5納米，要知道在目前可見光中的紫光波長最短也只有380-450納米，所以想要獲得13.5納米的「極紫外線」，就需要經過特殊工藝處理，而ASML公司的做法就是，直接將高純度的錫加熱到熔化，然後再噴射到真空中直接形成錫珠，然後再通過雷射照射這些錫珠，讓錫珠變成粉餅狀，然後還需要用到高功率的二氧化碳雷射照射去照射這些「粉餅」，才可以釋放出極波長為13.5納米的紫外線，但就是這樣一套極紫外線生成的解決方案，都有多家公司提供合成，例如ASML公司只提供了錫珠噴射方案，而高功率二氧化碳雷射方案等整體方案則由德國的TRUMPF公司提供。

看到這裡，或許很多網友們會說：「有了極紫外線不就可以生產晶片了嗎？」 但實際上還需要對這些產生的極紫外線進行下一步處理，讓這些從隨機向四面發射極紫外線收集起來，轉變為方向一致的極紫外線，而這裡又需要使用到布拉格反射器，直接將向四面發射的極紫外光源集合起來，匯聚成一束強的光線用於晶片光刻，而在這種布拉格反射器又是由卡爾蔡司（Zeiss SMT）所提供，在全球範圍內，還沒有找到超越卡爾蔡司（Zeiss SMT）第二家公司。

可以說一整臺EUV極紫外光刻機設備中，擁有高達3萬多個零部件，他們都來自於全球各國的頂尖技術或者是設備，當然即便是你購買到了ASML公司的極紫外光刻機，如果沒有ASML公司的幫助，你也無法正常安裝使用，因為EUV極紫外光刻機設備需要在一個清潔度非常高的車間中，完成整個光刻機設備的安裝調試，才能夠達到7nm EUV、5nm工藝晶片工藝的精度，看到這裡，也就不難理解， 為何只有荷蘭ASML公司能夠擁有EUV光刻機技術了吧，因為荷蘭ASML公司也是整合了全球各國頂尖的技術。
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    眾所周知，當晶片工藝邁入7nm之後，就會用到一種光刻機，那就是EUV光刻機，也就是極紫外一光刻機，但這種光刻機目前只有荷蘭的ASML才能造。那麼問題就來了，EUV光刻機的製造的難點究竟是什麼，為何只有ASML能造，像佳能、尼康、中國的上海微電子都不能製造？
  • 荷蘭ASML公司的頂尖光刻機都賣給了誰?
    編輯：簡易財經光刻機是生產製造晶片必不可缺的關鍵設備，其重要性不言而喻。由於光刻機的製造過程非常複雜，且技術含量極高，全球可以生產光刻機的公司並不多，能夠生產頂尖光刻機的廠商更是寥寥無幾，而荷蘭ASML公司就是全球可以生產頂尖光刻機的廠商，沒有之一。除了荷蘭的ASML公司，日本的尼康、佳能，中國的上海微電子，都是具備光刻機製造能力的廠商。
  • 為何EUV光刻機只有ASML能造?光EUV就已經難倒大家了
    眾所周知，當晶片進入到7nm以後，在生產中必須需要用到一種設備，那就是EUV光刻機，也就是極紫外線光刻機。目前全球僅有一家廠商能夠生產EUV光刻機，那就是荷蘭的ASML，所以全球的有實力的、想進入7nm或更低製程的晶片企業，都眼巴巴的盯著ASML，想要購買ASML的EUV光刻機。那麼問題就來了，為何EUV光刻機這麼難生產，只有ASML能造，其它廠商都造不出來？
  • 荷蘭ASML到底有多厲害,為什麼只有ASML才能製造出頂級光刻機?
    大家都知道，目前我國光刻機技術至少落後荷蘭ASML15年，目前荷蘭ASML的頂級光刻機可以達到7nm工藝，目前他們正大研發5nm工藝光刻機；而中國目前能夠量產的光刻機是90nm的工藝，差了10幾倍，光刻機製造真的有這麼難嗎？光刻設備是一種投影曝光系統，由紫外光源、光學鏡片、對準系統等部件組裝而成。
  • 全球那麼多國家,為什麼只有荷蘭ASML,才能製造頂級光刻機?
    為什麼全世界只有荷蘭能夠製造頂級的光刻機？這個問題，相信大家都想知道答案。我們都知道，荷蘭的ASML光刻機已經可以量產7納米的晶片，2020年，ASML更是步入5納米的光刻機時代。反觀我們的國產光刻機，現在還停留在96納米，雖然28納米的光刻技術已研發成功，但與ASML光刻機技術還是相差甚遠。那麼，為什麼現在只有ASML能生產頂級光刻機呢？一、ASML集百家之長。雖然ASML光刻機，掛的是ASML品牌的牌子，但只靠ASML一家公司是生產不出來的。
  • 日本光學技術世界第一,為何偏偏是荷蘭,造出全球頂尖的光刻機?
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    導讀：荷蘭ASML：公開圖紙也造不出來？中科院：全力攻克光刻機！，堪稱高精尖領域的代表；正是因為如此，所以晶片的生產製造工藝幾乎也是非常複雜和充滿難度的；想要生產晶片，必不可少的就是光刻機，而國產最先進的光刻機也僅僅只有28nm工藝水平，這與荷蘭ASML公司所研發的5nm的EUV光刻機相比，還有很大的差距！
  • 如果荷蘭ASML公司突然倒閉了,人類科技是否會退步?
    ASml作為全球技術最強悍的光刻機製造企業，目前壟斷了全球高端光刻機90%以上的市場份額，幾乎所有牛逼的晶片製造廠家都離不開asml，比如在2017年全球光刻機總出貨量是294臺，其中asml就佔到了198臺，光刻機出貨量佔全球市場份額的68%，而在EUV高端光刻機上，Asml的出貨量是11臺，全球佔有率100%。
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  • 有錢都買不到的EUV光刻機,ASML公司到底厲害在哪裡?答案四個字
    由於中國沒有辦法自己生產製造光刻機，訂購的光刻機又遲遲不發貨，所以國內晶片製造商就沒有辦法製造出頂尖的具有競爭力的晶片，因此很多手機廠商也只能跟外資晶片代工廠合作，這也暴露了不少國產手機的最大的弱點。中國在2018年的時候就已經向荷蘭ASML公司採購了光刻機，花費1.2億美元並且等待了兩年，至今都還沒有收到貨，一臺光刻機的價格這麼的昂貴，但是購買難度卻如此之高，這確實讓人有些想不通。現在主流的晶片的工藝製程基本上都已經在7nm水平，但是如果想要生產7nm晶片，ASML的EUV光刻機就是必不可少的。
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    據TechWeb網站11月30日最新報導，近日荷蘭光刻機巨頭阿斯麥（ASML）又送來一則好消息，該司已經與比利時半導體研究機構IMEC共同完成了1nm光刻機的設計工作。據了解，先進位程的光刻機對於曝光設備的解析度要求更高。與此同時，ASML已經完成了0.55NA曝光設備的基本設計工作。按照阿斯麥的計劃，預計相應的曝光設備全線準備好之後，會在2022年實現商業化。