光學薄膜前沿,Frontiers of Optical Coatings
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使用溶膠-凝膠法製備二氧化矽薄膜僅需6步驟,你知道多少?今天小編就給大家分享詳細的製備過程,希望能給大家有所幫助!
主要配方
正矽酸乙酯(TEOS)
無水乙醇(EtOH)
去離子水(H2O)
市售濃鹽酸(HCl)
配方體積比例
TEOS:EtOH:H2O:HCl=15:40:5:0.07
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取一定量無水乙醇溶液分為兩份,一份與TEOS在磁力攪拌機上混合10min,為A液;
另一份與濃鹽酸和去離子水在磁力攪拌機上混合,為B液;
在B液攪拌過程中,將A液緩慢滴加到B液中;
滴加完成後得到C液,C液用保鮮膜密封好繼續在磁力攪拌機上室溫攪拌3-5h;
靜置,陳化3天,得到SiO2溶膠
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將基片
分別放入
去離子水中初步清洗
再分別用
洗滌精、丙酮、無水乙醇和去離子水
經超聲波充分洗滌
放入烘臺上烘乾後
置於乾燥器中備用
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將經過
洗潔精、丙酮、酒精和去離子水
清洗乾淨並烘乾的樣片
用等離子氧處理
將其夾持在電機一端
以6cm/min速度浸入溶膠溶液中
待其全部進入後
保持浸入狀態4min
然後以同樣的速度提拉出溶液
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將提拉出溶液的樣品
先放置空氣中乾燥
使其表面乙醇揮髮膠層固定
然後放入60乾燥箱中乾燥1小時
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在管式爐中
從室溫以2攝氏度/min
升溫至500攝氏度
保溫1h
隨爐冷卻
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來源:光學薄膜前沿
編輯:付冠傑
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