溶膠-凝膠法製備出二氧化矽薄膜僅需6步驟,你知道多少?

2021-02-15 薄膜材料前沿

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使用溶膠-凝膠法製備二氧化矽薄膜僅需6步驟,你知道多少?今天小編就給大家分享詳細的製備過程,希望能給大家有所幫助!

主要配方

正矽酸乙酯(TEOS)

無水乙醇(EtOH)

去離子水(H2O)

市售濃鹽酸(HCl)

配方體積比例

TEOS:EtOH:H2O:HCl=15:40:5:0.07

取一定量無水乙醇溶液分為兩份,一份與TEOS在磁力攪拌機上混合10min,為A液;

另一份與濃鹽酸和去離子水在磁力攪拌機上混合,為B液;

在B液攪拌過程中,將A液緩慢滴加到B液中;

滴加完成後得到C液,C液用保鮮膜密封好繼續在磁力攪拌機上室溫攪拌3-5h;

靜置,陳化3天,得到SiO2溶膠

將基片

分別放入

去離子水中初步清洗

再分別用

洗滌精、丙酮、無水乙醇和去離子水

經超聲波充分洗滌

放入烘臺上烘乾後

置於乾燥器中備用

將經過

洗潔精、丙酮、酒精和去離子水

清洗乾淨並烘乾的樣片

用等離子氧處理

將其夾持在電機一端

以6cm/min速度浸入溶膠溶液中

待其全部進入後

保持浸入狀態4min

然後以同樣的速度提拉出溶液

將提拉出溶液的樣品

先放置空氣中乾燥

使其表面乙醇揮髮膠層固定

然後放入60乾燥箱中乾燥1小時

在管式爐中

從室溫以2攝氏度/min

升溫至500攝氏度

保溫1h

隨爐冷卻

來源:光學薄膜前沿

編輯:付冠傑

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