一、等離子刻蝕
在等離子體刻蝕過程中，通過處理氣體的作用，刻蝕的物體變成氣相(例如，當使用氟氣腐蝕矽時，下圖)。處理後的氣體和基體物質由真空泵抽出來，表面連續覆蓋著新鮮的氣體覆蓋。不希望被蝕刻部分要使用材料覆蓋(例如，半導體工業用鉻作為覆蓋材料)。
等離子法也用於刻蝕塑料表面，通過氧氣可以灰化混合物。蝕刻法在塑料印刷和粘接作為預處理手段是十分必要的，如POM、PPS、PTFE等。等離子體可以大幅度地增加潤溼面積。
二、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清洗
塑料、玻璃和陶瓷由於性能優良、成本低廉，其薄膜、片材及各種製品在日常生活中大量地應用著。而氟塑料則因具有優異的化學穩定性、卓越的介電性能和極低的摩擦係數以及自潤滑作用，使其在一些特殊領域中具有重要的用途。但是，這類材料在應用過程中，不可避免地會遇到同種材料之間或與其它材料的粘接問題，因此，人們曾對這類難粘高分子材料的難粘原因及表面處理方法進行了不斷深入的研究。
等離子處理不會損壞樣品，同時可以十分均勻地處理整個表面，不會產生有害煙氣，中空和帶縫隙的物品也能處理，具有環保意義，佔用很小工作空間，成本低廉。
等離子簡單處理效果可以用水來驗證，處理過的樣品表面完全被水潤溼。
三、等離子塗鍍
聚合過程
在塗鍍中兩種氣體進入反應艙，氣體在等離子環境下聚合，這種應用比等離子表面活化清洗要求更為嚴格一些。塗鍍層非常保，僅幾微米，常用的情況有環幾物塗水防渡，類似PTFE材質的塗鍍，親水塗鍍。
四、金屬表面去油及清潔
金屬表層常有機質層和金屬氧化物層，如植物油脂、油垢等。在磁控濺射、噴漆、粘合、電焊焊接、銅焊和PVD、CVD鍍層前，必須採取等離子技術處理才可以得到徹底清洗、無氧化作用的表層
灰化表面有機層（表面受到化學轟擊）演示
氧化物去除（金屬氧化物與處理物體發生化學反應）演示
五、PTFE刻蝕和灰化
沒經正確處理，ptfe不可以包裝印刷或粘接。大家都知道，應用活性氧鹼土金屬能提高吸附力，但這類辦法不容易把握，且水溶液含毒。運用等離子技術法既可以保護生態環境，又能獲得不錯的效果，如下圖
PTFE的混合物必須小心處理，以免填充物過於暴露，等離子技術可以讓表面最大化，這樣塑料可以進行粘合、印刷等操作。