2018年未來科學大獎獲得者林本堅——一位「讓水發光」的半導體光刻工藝「大神」

2021-02-15 IC咖啡

1942年出生在越南的林本堅,是臺灣「中央研究院」第一位出身產業界的院士。

林本堅當時是在臺灣上高中,並於1970年獲得美國俄亥俄州立大學電機工程博士。他在IBM不斷提高成像技術,一幹就是22年。2000年,林本堅回到臺灣,加入了臺積電。

高三那年,他獨立一人來臺就讀新竹中學。出於對物理的喜愛以及工作機會的思量林本堅在隔年考臺大時選擇了電機系,進而與電磁波結緣(所有的光都是電磁波)。

從臺大畢業後,林本堅又前往美國俄亥俄州立大學攻讀博士學位。回想美國的求學經歷,林本堅笑說不只高手雲集,課業也重。「當時教我物理的是楊振寧的弟弟楊振平,要求很嚴格。過去在臺大我從沒熬過夜,沒想到在那邊要熬夜趕功課。」

半導體關鍵技術就是微影學,全球精於此的兩隻手指頭數得出來,林本堅是排名很前面人。

讓他對「光」產生啟蒙的,是母親送他的一臺老式的照相機,啟發他對光的好奇,一生與光結下不解之緣,甚至國外念書時,也以幫女友拍照為由,開啟生平第一次約會,後來這位女主角就是他的一生伴侶。「她是臺大動物系的高材生,當年成績比我好。假使我有什麼成就,我太太的功勞不容埋沒。」他表示。

快畢業時,林本堅詢問導師求職的方向。由於林本堅以全相學(Holography)為博士論文,對方建議他循著一本光學月刊背後所登載的贊助公司,一家一家寫求職信。愛好攝影的林本堅本來最中意的是柯達(Kodak),沒想到求職信杳無回音,反而是另外兩家—IBM T.J。 Watson Research Center與貝爾實驗室(Bell Labs)找上門來。

起初,林本堅還很納悶,IBM一個電腦公司需要光學做什麼?入職後才發現,原來晶片產業所有的零件和晶片都需要光學來做小型和微型化。林本堅自己也沒想到一做就是二十二年,談到IBM的紮實經歷,最讓林本堅印象深刻的是同事間不吝分享、討論的氛圍。「有什麼想法就可以找同事來談。同事也會用很open的態度跟你分享他的看法與知道的資訊。」

儘管如此,林本堅在IBM的道路並非一帆風順。林本堅早年在IBM半導體部門做深紫外光光刻研究時,公司的發展主流,卻是另一項X光微影科技。不但人力資源遠超過他的團隊,而且,負責X光光刻的主管,同時也是林本堅的頂頭上司。他在公司處境之尷尬可想而知。

值得一提的是,深紫外光,成了半導體過去三十年的主要光源,X ray則至今仍未商用化。

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