能量色散X射線螢光 (EDXRF) 譜儀利用了探測器信號的脈衝高度正比於X射線光子的能量,而能量與波長相關的原理。因此光路比WDXRF 譜儀簡單,因為沒有晶體或測角儀,來自樣品的螢光光子直接到達探測器。
X光管的功率比WDXRF的功率低。樣品被光管激發,通過計數不同能量水平的脈衝來定性元素和定量其含量。通常使用多道分析器顯示和提供數據。每一個通道都同時計數某一能量的光子數。
EDXRF的解析度主要依據所使用的探測器。在高能量水平,解析度比WDXRF高。