鄒廣田院士:高速生長CVD金剛石單晶及其應用

2021-01-08 粉體圈網絡

長期以來,金剛石憑藉其精美的外表,卓越的硬度,一直是晶體材料中最受人們關注的材料之一。除此之外它還具有比熱低、導熱性好、機械強度大、抗腐蝕性能好、半導體性能和高溫穩定性等優良性能,在生產技術和科學研究各方面有著廣泛的用途。

根據金剛石的晶體形態,金剛石可分為單晶體、連生體和聚晶體。其中金剛石單晶由於缺陷少、品質高,在某些應用領域具有不可替代的作用。但是,天然的金剛石單晶(特別是較大尺寸,晶型、取向等符合應用要求的單晶)在自然界中十分稀少,價格昂貴。

目前人工合成金剛石單晶的方法主要可分為兩類:高溫高壓法(HTHP),化學氣相沉積法(CVD)。其中HTHP法可獲取的單粒尺寸相對較小,而且高溫高壓法合成的單晶可能含有觸媒等雜質,並且無法有效地進行半導體摻雜;而化學氣相沉積法(CVD)是通過高溫將氫氣和碳氫氣體分解成碳氫活性基團,在一定條件下,在襯底材料上沉積出金剛石的方法,該方法理論上尺寸上不受限制,而且製備的金剛石單晶質量高,可做到完全無色透明,幾乎沒有任何雜質,同時如果在生長過程中有選擇性的通入摻雜氣體,便可以製備出多種有色金剛石。

正因擁有如此多的優點,近年來大尺寸CVD金剛石單晶的高速生長成為金剛石領域新的研究熱點。不過要想進一步擴展CVD金剛石單晶的應用範圍,在提高金剛石單晶的生長速度、生長質量及降低表面粗糙度等方面,還需要繼續努力。

在1月6-8日於廣東珠海舉辦的「2021全國高純粉體與晶體材料創新發展論壇」上,來自吉林大學超硬材料國家重點實驗室珠海分實驗室的鄒廣田院士將分享題為《高速生長CVD金剛石單晶及其應用》的報告。屆時他將對CVD法製備單晶金剛石的機理進行分析,並對單晶金剛石的產業化提供有價值的參考。 感興趣的話就不要錯過了哦!

關於報告人

鄒廣田院士

鄒廣田,物理學家,中國科學院院士,吉林大學教授、凝聚態物理專業博士生導師。他長期從事靜態高壓物理和超硬材料研究,注重發展實驗技術,倡導建立創新的實驗設備。領導創建了國際上前五個獲得百萬大氣壓的實驗室之一——超硬材料國家重點實驗室;發展了靜水壓實驗技術,曾創造國際上靜水壓的產生與標定的記錄;在國際上首次發現和確定了200餘個高壓新相、多種新的壓致相變類型和新奇的壓力效應,提出了一些新的壓致相變機制,拓展了對高壓下物質世界的認識。

他是國際上最早開展地球及行星內部物質的高壓研究的物理學學者之一,在該領域做出了許多開拓性工作。這些工作為物理學家、地球物理學家探索地核和地幔中的物質研究開創了諸多新機遇。他也是國內超硬多功能薄膜材料和多功能高壓相材料的主要開拓者之一。「七五」期間,他領導的課題組於1987年研製出國內第一片金剛石薄膜,世界上第一片按設計圖案選擇性生長的金剛石薄膜,第一片異質外延單晶金剛石膜,在國際上首次將CVD金剛石膜用做半導體雷射器的熱沉,現在此技術已成為大功率半導體雷射器散熱的主要方法之一。這些成果引發了後續大量的工作,為CVD金剛石的應用打下了良好的基礎。

經過半個世紀的艱苦創業、辛勤耕耘,他已成為我國高壓物理的領軍人物和國際上有影響的高壓物理學家。曾連任2屆國際高壓科學與技術協會(AIRAPT)副主席和4屆國際地球內部物質的物理性質委員會委員,多次重要國際會議主席,國務院學位委員會物理與天文學評議組成員、中國物理學會理事、高壓物理專業委員會主任,吉林省物理學會理事長,現任吉林省物理學會名譽理事長,第六屆教育部科技委數理學部主任等。榮獲2014年國家自然科學二等獎和2013年吉林省科學技術特殊貢獻獎以及省部級科技進步一等獎5項;現主持自然科學基金委國家重大科研儀器設備研製專項「新一代大型超高壓產生裝置」。合作發表論文500餘篇、專著4本,獲國家發明專利授權30餘項。一些論文作為原始文獻在SCI收錄雜誌、國外專著和文集廣為引用。他為我國高壓科學和超硬多功能新材料的發展做出了卓越貢獻。

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