近日,晶片又一次成為了全民關注的熱點話題。在5G已經逐步商用化、AI大量應用的今天,晶片對於一個科技企業來說的重要性已經不言而喻。騰訊科技近日發起系列策劃,聚焦各個晶片大國的發展歷程。第三期:《歐洲晶片簡史:這家荷蘭公司,遏制住了全球半導體晶片的咽喉》;作者:蔣培宇。以下是正文內容:
一提起荷蘭,大家首先想到的是巨大的風車,以及色彩華美的鬱金香。很少有人會留意到,在雨水充沛、人口不到30萬的荷蘭南部城市費爾德霍芬(Veldhoven),坐落著一家叫阿斯麥(ASML)的公司,它是全球最大的光刻機製造商。
阿斯麥的地位有多重要?可以這麼說,如果它停產,全球半導體晶片生產將會停擺。
阿斯麥的行業地位,還可以通過近期一則新聞略窺一斑。5月初,美國聖克拉拉市高等法院作出最終判決,阿斯麥起訴XTAL公司竊取商業機密勝訴,阿斯麥獲賠8.45億美元,並獲得XTAL的大部分專利和客戶。
這樁官司發生的背後,和阿斯麥的一位客戶想借XTAL打破阿斯麥的市場壟斷地位有關。
這方面,或許市場數據更有說服力。
2017年全球光刻機總出貨294臺,阿斯麥出貨198臺,佔據市場份額68%,在更高端的EUV(極紫外)光刻機方面,市場100%屬於阿斯麥。正因為如此,才有客戶擔心自己被阿斯麥卡脖子,於是絞盡腦汁培養阿斯麥的競爭對手XTAL。
合抱之木,生於毫末。阿斯麥剛成立時,可謂爹不疼娘不愛,靠著苦心鑽營出一套打法,最終從尼康等老牌光刻機大戶嘴裡搶到飯吃,從青銅走上王者之巔。
「出生於」尼康為王的時代
阿斯麥成立於1984年。
1984年正是尼康來回碾壓美國對手的時代:
在矽谷成立尼康精機,等於把戰鬥指揮部放到美國高科技行業的心臟;
PerkinElmer(鉑金埃爾默)受尼康衝擊,份額從超過30%跌到不足5%,今天它已經完全放棄半導體設備業務,專注於健康檢測設備;
GCA的大客戶IBM、AMD、TI和Intel等,排著隊跑到尼康那兒;
尼康和GCA各享30%的市場份額,這種一山二虎的局面沒有維持多久,尼康就獨自為王,佔領超過50%的份額,一直到阿斯麥崛起為止;
在大戶尼康肆意放飛自我的時候,阿斯麥出生了。
直到今天,半導體設備在尼康集團的收入中佔比仍達38.8%,是第二大支柱。圖片數據/尼康官網
早在幾年前,飛利浦實驗室研發出自動化步進式光刻機(Stepper)的原型,但對它的商業價值心裡直敲小鼓,找P&E、GCA、Cobilt、IBM這些半導體界的大佬談合作,沒人願意搭理。這時,荷蘭一家叫ASM International的小公司主動要求合作。飛利浦猶豫了一年,勉強同意成立股權對半的合資公司,這就是阿斯麥。
飛利浦之所以願意放低身價和一家名不見經傳的小公司合作,原因有兩個:
一方面是飛利浦當時正和索尼主推更賺錢的CD,1984年CD的銷量達到1300萬張,是上一年的兩倍多,正漸漸散發出印鈔機的氣質,比小眾的光刻機更有投資價值;
另一方面,尼康在光刻機市場攻城掠地,老牌半導體設備廠商節節敗退,雪上加霜的是,飛利浦當時正打算開始大規模裁員,糟糕的經濟狀況和惡劣的光刻機市場環境,使它不敢大手筆押注光刻機,因此與ASM International合作,不過是想佔個坑觀望而已。
阿斯麥成立後,地位類似童養媳,飛利浦沒有撥付經費,甚至不提供辦公室,31個員工就在飛利浦大廈外的簡易木棚房辦公。多年以後,阿斯麥的CEO彼得.韋尼克(Peter Wennink)回憶公司初創時的境況,還忍不住說「窮困」。一句話:既沒錢,又受對手壓制。
阿斯麥剛成立時的辦公地是飛利浦大廈前的簡易木棚房,就是圖中緊挨垃圾桶的小房子。
在2000年之前的整個16年時間裡,光刻機市場差不多都是尼康的後花園,阿斯麥佔據的份額不超過10%。
直到一個叫林本堅的華人出現。
臺積電林本堅宣判「乾式」微影技術死刑
1959年,成立半年的仙童半導體公司赫爾尼發明了製造擴散型電晶體的「平面處理工藝」,使電晶體製造像印刷書籍一樣高效。這一工藝的流程之一,是把帶有電路圖的透光片正確投射到矽片上。「平面處理工藝」誕生之後成為集成電路的標準工藝,一直沿用至今,其最初採用的「乾式」(以空氣為介質)微影技術也沿用到上世紀90年代(鏡頭、光源等一直在改進),然後遇到瓶頸:始終無法將光刻光源的193nm波長縮短到157nm。
當時,為縮短光波長度,大量科學家和幾乎整個半導體業界都被卷進來,砸進數以十億計的美金,以及大量人力,提出了多種方案。
但這些方案,要麼需要增大投資成本,要麼太過超前,以當時的技術難以實現(比如極紫外(EUV)光刻,後文會講到)。
當大家排隊往157nm的「牆」上撞時,時任臺積電研發副總經理的林本堅來了個腦筋急轉彎:既然157nm難以突破,為什麼不退回到技術成熟的193nm,把透鏡和矽片之間的介質從空氣換成水,由於水的折射率大約為1.4,那麼波長可縮短為193/1.4=132nm,大大超過攻而不克的157nm。
這個方案被稱做「浸入式光刻技術」,優勢非常明顯:
由於是利用現有成熟技術改造,資金投入小,可以給半導體設備製造商節省研發投入,並減小晶片製造商的導入成本;
如果把介質從水換成其它高折射率液體,波長還可以縮小到132nm以下,也就是說提高光刻機的解析度非常方便。
「浸入式光刻」方案並非林本堅靈光一現的產物,實際上早在1986年,他在IBM工作期間,就已經認定縮短波長的最佳方案是由乾式微影技術轉向浸潤式。但當時半導體界還沒在波長前撞牆,浸潤式技術方案沒有得到重視。
15年後,林本堅終於等來了機會。
「浸入式光刻」方案一出,基本上宣判了半導體界正在開發的各種「乾式」微影技術方案的死刑,意味著此前投入巨量的資金和人力幾乎打了水漂。這下大家不幹了,列出了一大堆反對理由,並有大公司高層捎話給臺積電共同運營長蔣尚義,希望他管管林本堅,「不要(出來)攪局」。
阿斯麥下注崛起
林本堅帶領團隊半年發表3篇論文,消除業界對「浸入式光刻」方案的技術疑慮,同時跑遍美國、德國、日本等國,說服大廠們採用「浸入式光刻」方案,基本都是被拒絕。畢竟之前的巨量投入打水漂,是個人想想都會心疼(尼康現在大概是後悔的)。
來到荷蘭阿斯麥時,林本堅終於聽到願意合作的聲音。
打動阿斯麥的,除了「浸入式光刻」方案的技術難點被林本堅證明可以攻克,還有它的市場前景。由於半導體晶片市場一直被摩爾定律的小鞭子驅趕著,而英特爾又是摩爾定律的堅定支持者,「浸入式光刻」方案既然可以輕鬆突破157nm的障礙,那麼產品生產出來,英特爾將會下單,加上臺積電,阿斯麥可以拿下兩家龍頭客戶。
半導體設備市場是個小眾市場,兩家龍頭企業點頭後,阿斯麥追上行業老大尼康的概率大大增加,權衡下來,此前對乾式微影技術的投入就顯得不那麼肉疼,阿斯麥於是決定下注投入「浸入式光刻」方案。
阿斯麥和臺積電一拍即合。2004年,雙方共同研發成功全球第一臺浸潤式微影機。當然,尼康也不是吃素的,宣布採用乾式微影技術的157nm產品和電子束投射(EPL)產品樣機研製成功。
但阿斯麥的產品相對於尼康的全新研發,屬於改進型成熟產品,半導體晶片廠應用成本低,而且縮短光波比尼康的效果還好(多縮短25nm)。結果,沒人願意買尼康的產品,尼康潰敗由此開始,市場份額被阿斯麥大口吃進。
5年後也就是2009年,阿斯麥已經佔據70%市場份額,尼康則從行業老大變成小弟。尼康的潰敗,還間接拉低了日本半導體晶片廠商的競爭力,它們基本上都採用尼康的光刻機。阿斯麥的崛起,則直接帶動臺積電上升,並達到今天的高度。
「一榮俱榮,一損俱損」,曹雪芹發現的這條豪門興衰規律,同樣適合高度耦合的半導體產業。