「掃描探針顯微鏡漂移測量方法」國際標準發布

日前，由中國科學技術大學工程科學學院黃文浩教授主持制訂的國際標準「掃描探針顯微鏡漂移測量方法（ISO11039:2012）」已由國際標準化組織正式發布。

自20世紀80年代掃描探針顯微鏡（Scanning-probe microscopy，SPM）發明以來，由於其具有原子量級的分辨能力，極大地促進了納米科學技術的發展，並已逐步形成了一種高新技術產業。SPM的工作原理是通過微小探針在樣品表面進行掃描，將探針與樣品表面間的相互作用轉換為表面形貌和特性圖像。由於掃描速率較慢，漂移現象在掃描過程中普遍存在，這制約了SPM在納米測量和納米加工方面的進一步應用。

黃文浩教授近二十年來一直從事納米技術與精密儀器領域的研製工作。在2006年，他向國際標準化組織ISO/TC201（表面化學分析技術委員會）提出了「掃描探針顯微鏡漂移速率測量方法標準」的提案，目的是要將SPM工作時納米/秒的漂移大小和方向測量出來，以規範這類儀器的使用方法。2007年該提案正式立項，黃文浩教授被指定為該項目工作組的召集人。經過四年多的努力，SPM漂移測量方法標準的最終草案於2011年經全體成員國投票後順利通過，並於2012年正式發布。

該標準定義了描述SPM在X、Y和Z方向的漂移速率的專業術語，規定了SPM漂移速率的測量方法和測量程序，對儀器的功能和工作環境以及測量報告內容均作了嚴格要求。該標準為SPM儀器生產廠家制定了漂移速率的有效參數規格，並且能幫助用戶了解儀器的穩定性，以便設計有效的實驗。該標準不僅適用於基於SPM測量圖像的漂移速率評價方法，對其它納米級測量儀器穩定性的評價也有著重要參考價值。

相關研究工作受到國家自然科學基金、中科院知識創新工程重要方向性項目和科技部973項目資助。