潔淨室的靜壓差檢測方法

2021-02-10 無塵無菌潔淨室專家

潔淨室的靜壓差檢測方法

此項檢測的目的是為了測定潔淨室的靜壓差，它可以是正壓或負壓，以防止潔淨室內外氣流間被汙染。

(1) 檢測要求

①壓差的測定要求在潔淨區內的所有的門全部關閉情況下進行。

② 在潔淨室平面上應從潔淨度由高到低的順序依次進行，一直檢測到直通室外的房間。

③測管口設在室內沒有氣流影響的任何地方均可，測管口面與氣流流線平行。

④所測量記錄的數據應精確到O.lPa。

(2)普通傳遞窗檢測方法

①關閉所有的門。

②用微差壓計測量各潔淨室之間、潔淨室走廊之間、走廊與外界之間的壓差。

③記錄所有數據。

(2)測量儀器

採用YJB-150補償微壓計，量程0—1 500Pa或其他微壓力計，儀表靈敏度小於O.lPa。

(3)合格標準

按照傳遞窗原理潔淨室設計或工藝要求決定維持被測潔淨室的正壓或負壓值。

②同級別的潔淨室或潔淨區與非潔淨室（區）之間的靜壓差，應不小於4.9Pa。

②潔淨室（區）與室外的靜壓差，不應小於9.8Pa。

③對於空氣潔淨度等級嚴於5級（100級）的單向流潔淨室在開門時，門內0.6m處的室內工作面含塵濃度應不大於相應級別的含塵濃度限值。

④若達不到以上標準的要求，應重新調整新風量、排風量，至合格為止

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