「針對光刻機等苛刻測量環境中實現多自由度幹涉測量的需求，我們提出了基於稜鏡誤差矢量分析的單體集成多軸幹涉儀組件設計方法，研發出從2軸到5軸的系列化單體式多軸幹涉儀組件，打破了國外企業的壟斷和對我國的出口限制。」4日，清華大學長聘教授、精密儀器系學術委員會主任李巖告訴記者。
雷射幹涉測量
雷射幹涉測量是實現超精密測控和微納尺度測量的最有效手段之一。在國家重大科技專項「極大規模集成電路製造裝備及成套工藝」（02專項）等項目支持下，由李巖等完成的「高測速多軸高解析度雷射幹涉測量技術與儀器」項目，突破一系列關鍵技術瓶頸，形成了測量新方法、系統及儀器。
李巖介紹，項目實現了從幹涉儀組件、信號探測解調到多自由度探測方案設計的全鏈條自研開發的高測速、多軸大量程、高解析度雷射幹涉測量系統。
截至目前，項目團隊所研發的光刻機用雙頻雷射幹涉儀系統，應用到我國自研光刻機工件臺樣機研發過程中，累計應用50餘臺套，滿足了光刻機雙工件臺樣機的精密測量需求，減輕了對國外高端幹涉儀的依賴，降低了其產品對我國出口限制所造成的研發風險。
李巖說，比如項目開發的亞納米解析度可溯源外差幹涉儀，應用到雷射多維測量系統研究與開發的比對檢定研究中，找出了雷射多維測量系統非線性誤差原因，並用專門的電路加以校正，提高了相關單位雷射多維測量系統的性能，所提出的可溯源幹涉測量新方法，為摩爾單位採用阿伏伽德羅常數重新定義作出了貢獻。
「項目的成功，打破了外國對我國高端雷射幹涉測量儀器的限制和壟斷，為我國高端裝備和儀器研發提供性能穩定且不受制於外國的測量及溯源能力，豐富了雷射幹涉測量理論與技術，具有非常重要的技術、經濟和社會效益。」李巖說。
來源：科技日報
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